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SolidSense II® 压力传感器

通过准确稳定的超高纯控制,将工艺精度最大化
型号 GF / GI / GP / GR / GS

就许多行业使用的超高纯和特种气体进行压力测量时,压力传感器必须保持稳定性和准确性。为此,布鲁克斯仪器 SolidSense II® 压力传感器将无焊接耐腐蚀材料与拥有出色零点稳定性和精度(小于满量程 0.25%)的设计相结合。

我们避免了零点、量程漂移、热漂移问题以及导致竞争性传感器需要维护和停机的案例压力等问题。相反,SolidSense II® 仪器具有一个易于维护的强大设计,降低了总购置成本。

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SolidSense II® 系列数据表

特点

  • 材料:高温退火的 VIM-VAR 316L 不锈钢机身,一体成型的机加工传感器
  • 无焊缝或不同材料的接头
  • 压力范围:30 到 3000 psi (满量程)
  • 型号适用于集成显示器或全功能可编程显示器
  • 数字热补偿采用多点温度补偿法
  • 专有的微加工硅应变计可达到极低的零点漂移
  • 全吹扫式流路可彻底去除残留气体
  • 输出:4 - 20 mA,0 - 10 Vdc,0.05 - 5.05 Vdc

优势

  • 光滑的表面处理工艺和耐腐蚀材料可确保测量环境无污染物存在 – 非常适用于各种半导体和工业应用
  • 耐氢脆化,使用寿命更长
  • 长期可重现型传感器在各种温度下均可提供可靠性能
  • 优异稳定性可保障设备精度
  • 无需初始零点调节,缩短了校准时间
  • 两组准确匹配的应变式传感器即可确保感测性能
  • 传感器连接件采用玻璃熔制接合,可消除应力延长使用寿命
  • 数字式温度补偿可在整体温度范围内提升热稳定性

应用

  • 半导体制造
  • 超高纯度液体存储和输送系统
  • 薄膜加工
  • 化学与石化行业研究
  • 实验室和分析项目
  • 食品和饮料
  • 制药
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产品类型

压力传感器

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区别

超高纯度

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性能
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压力范围

高达5,000磅每平方英寸

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爆裂压力

400%满量程

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考验压力

200%满量程,最高达2,000 psi;更高量程为150%满量程

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精度

±0.25% 满量程(BFSL)

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响应时间-常闭

< 5 毫秒

{DBEADA35-6FB6-4132-8A90-BAE1485A6F14}
温度系数

>100 PSI量程:满量程:+0.02%满量程/°F(-4°F至140°F,-20°C至60°C)+0.50%满量程(68°F至140°F,20°C至60°C)0至10 Vdc版本

<100 PSI量程:满量程:+0.04%满量程/°F(-4°F至140°F,-20°C至60°C)+1.00%满量程(68°F至140°F,20°C至60°C)0至10 Vdc版本

{16BA3E73-8E1F-4743-B968-4368102EF0BB}
机械
{03CD7E8A-C91E-4D6C-932A-D9624A942C64}
构造材料

外壳:不锈钢、聚合物塑料

{B56F3497-D310-4A01-B11D-404DEB08BF05}
表面抛光

符合SEMI F19标准

{79038346-646C-4FA1-AF71-8A65EF7D3D3F}
接液材料

VIM-VAR 316L不锈钢,SEMI F20

{0391800E-6001-44B6-96B0-0B74637393C3}
洁净

符合ASTM F1374-92(2005)标准

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内部容积

1.79立方厘米

{F3C5A150-F605-4472-8BDD-19E36532BF90}
过程连接

多种配置包括管式、NPT、端面密封和表面密封

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等级
{2051733B-C07F-4269-8206-8F13B0E6E7FE}
温度-补偿

-4°F 至 140°F(-20°C 至 60°C)/ 68°F 至 140°F(20°C 至 60°C)0-10 Vdc 版本

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温度范围

非显示版本:-20°F 至 180°F(-29°C 至 82°C)

集成显示版本:-20°F 至 140°F(-29°C 至 60°C)

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温度范围-贮存

非显示屏:-40°F至180°F(-40°C至82°C)

集成显示屏:-40°F至167°F(-40°C至75°C)

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电气
{85C82258-8095-4807-8655-2C0131520ED5}
模拟通讯
0-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0.2-5.2 Vdc, 2-10 Vdc, 4-20 mA
{C1945966-FD0A-4E7E-8AFB-D666A31DBA13}
供应电流

非显示版本:最大10毫安

集成显示屏:最大30毫安

{86622513-3FE5-4A76-842A-A43DACC3892C}
电源要求

显示版本:10至30 Vdc,输出4至20 mA 集成显示版本:15至30 Vdc,输出4至20 mA且无信号输出

显示版本:11至30 Vdc,输出0至5 Vdc 集成显示版本:11至30 Vdc,输出0至5 Vdc

显示版本:13至32 Vdc,输出0至10 Vdc 集成显示版本:13至30 Vdc,输出0至10 Vdc

{16019D48-5476-4B01-8246-5A21C95D4644}
承诺
{FB648B8B-E764-4BE5-B5A1-AF70686B3002}
认证和批准

EMC:符合欧盟指令2004/108/EC

FM认证:适用于I类、II区、A、B、C和D组危险场所的非引燃设备

{B48F89F8-9DA2-45CA-A6A4-67F50593E74F}
符合环保要求

《限制有害物质指令》(2011/65/EU)

《化学品注册、评估、授权和限制法规》(EC 1907/2006)

GF / GI GP / GR GS
区别

高纯度、超高纯度(带显示屏或不带显示屏)

可编程开关

可旋转集成显示屏

高纯度,超高纯度,哈氏合金

配置

单端

死胡同还是畅通无阻

死胡同还是畅通无阻

压力范围

高达3,000磅每平方英寸

高达4,000磅每平方英寸

高达4,000磅每平方英寸

精度

±0.25% 满量程(BFSL)

±0.25% 满量程(BFSL)

±0.25% 满量程(BFSL)

输出类型

模拟电压或电流

模拟电压或电流

模拟电压或电流

认证和批准

RoHS:符合2002/95/EC指令

EMC:符合EMC指令2004/108/EC

可提供ATEX认证版本

RoHS:符合2011/65/EU指令

RoHS:符合2015/863/EC指令

REACH:符合1907/2006/EC法规

EMC:符合EMC指令2014/30/EU

RoHS:符合2015/863/EC指令

REACH:符合1907/2006/EC法规

EMC:符合EMC指令2014/30/EU

文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet - GF/GI Series pdf English
Data Sheet - GF ATEX Series pdf English
Data Sheet - GR/GP Series pdf English
Data Sheet - GS Series pdf English
Installation Manual - GF Series pdf English
Installation Manual - GR Series pdf English
Installation Manual - GS Series pdf English

请参照以下指南(数据表中的型号代码信息)转换下方可用的CAD配置。如需协助或无法找到所需内容,请联系应用工程部或您当地的Brooks Instrument代表。

示例:GF - D - B - CS

压力传感器
体型

电气连接

配件

GF

D - 死胡同

B - 本迪克斯连接器

CS - 表面贴装