122 系列机械压力计

可靠、高效的本地压力监测,适用于高纯度应用
型号 S122 / C122 / C122
布鲁克斯仪器 122 系列机械压力计的设计和开发目的是满足半导体行业应用对高纯度的苛刻要求。设备采用不锈钢材质,特点是精度可达满量程的 1%。上述两英寸仪表属于耐用型测量设备,适用于各种 过程连接、压力范围和安装方向,可高效、可靠地进行本地压力监测。

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122 系列数据表

特点

  • 不锈钢移动件可确保精密性
  • 316L 不锈钢接液部件
  • 焊接至无氧仓中的仪表,以满足严格的洁净和安全性准则要求
  • 拥有各种型号和压力范围,可满足特定设计需求

优势

  • 耐用、高效的压力本地监测手段

应用

  • 用于半导体加工的气体输送系统和工具,包括:
    • 大宗气体
    • 气柜
    • 气体分配
{0611827E-BDAA-489D-B1E4-90280E983F1C}
产品类型
Mechanical Pressure Gauges
{58EE102D-966D-40FB-847A-4CE8A05E0390}
区别

High-Purity

{8C1D9CF4-A047-47E5-8B60-DCA9345494D4}
性能
{BCE97E3A-6AB4-4FF9-AA3C-DE8806BC5A98}
压力范围

- 30" - 4000 psi

{D5E3CCA9-7DB7-4529-9166-4D98263C7B70}
精度
1% Full Scale
{9BF3C762-3A99-476E-8803-5B5699122EDA}
爆裂压力
400%
{3FDCA61E-85EA-41BA-B093-4E1BE6D8043D}
考验压力
110%
{96AFF225-26AB-415C-B9DD-B3204F27C8F7}
等级
{0702E29E-FE1E-4AAA-9CCA-87C8CADD4615}
安全泄压
Unrestricted rear blow-out plug
{F38B86EC-6DA4-400F-85C7-C2DD796D2180}
氦气检漏
4 x 10-9 Inboard Std. cc/sec
{9E1347BE-6B8B-4E22-8450-248E460C1061}
洁净
Cleaned for oxygen service to ANSI B40.1 level IV specifications
{6DED59C7-53DC-4A73-86C1-5D4199D961C3}
机械
{2CE03364-084A-4FAE-A477-74D832523BA3}
外壳
300 Series Stainless Steel, electropolished
{278E35B0-C665-4348-B821-7A4AD6F2999E}
边框和玻璃材料
One-piece polycarbonate, screw-on
{CE3DA0D6-5A16-4487-89C1-649516DAC2DC}
插座材料
316L Stainless Steel
{D19E13DD-8E08-4337-B30A-586282BCE0FC}
移动

300 Series Stainless Steel

{A5558470-8BFF-42B5-B293-834A69FA1BC4}
弹簧管
316L Stainless Steel
{AF45CDCD-7B72-41C9-A00D-3FFB5A402667}
过程连接

Face-seal male, Face-seal swivel male,

Face-seal swivel female and 1/4" NPT male

{057116C4-C19C-4EB0-8FC9-120C57D0B2AC}
表盘
White with Black markings, "Use no Oil" is red
{C7C38FE5-5267-483D-9763-8BFD673565A7}
表面抛光

Not Applicable

S122 C122 C122
区别 Socket Orientation Socket Orientation Socket Orientation
压力范围 Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi
精度 1% FS 1% FS 1% FS
插座定位 Stem Mounted

Center Back Mounted

Center Back Mounted with SS Front Flange

文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet pdf English