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122 系列机械压力计

可靠、高效的本地压力监测,适用于高纯度应用
布鲁克斯仪器 122 系列机械压力计的设计和开发目的是满足半导体行业应用对高纯度的苛刻要求。设备采用不锈钢材质,特点是精度可达满量程的 1%。上述两英寸仪表属于耐用型测量设备,适用于各种 过程连接、压力范围和安装方向,可高效、可靠地进行本地压力监测。

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122 系列数据表

特点

  • 不锈钢移动件可确保精密性
  • 316L 不锈钢接液部件
  • 焊接至无氧仓中的仪表,以满足严格的洁净和安全性准则要求
  • 拥有各种型号和压力范围,可满足特定设计需求

优势

  • 耐用、高效的压力本地监测手段

应用

  • 用于半导体加工的气体输送系统和工具,包括:
    • 大宗气体
    • 气柜
    • 气体分配
产品类型
Mechanical Pressure Gauges
区别

High-Purity

性能
压力范围

- 30" - 4000 psi

精度
1% Full Scale
爆裂压力
400%
考验压力
110%
等级
安全泄压
Unrestricted rear blow-out plug
氦气检漏
4 x 10-9 Inboard Std. cc/sec
洁净
Cleaned for oxygen service to ANSI B40.1 level IV specifications
机械
外壳
300 Series Stainless Steel, electropolished
边框和玻璃材料
One-piece polycarbonate, screw-on
插座材料
316L Stainless Steel
移动

300 Series Stainless Steel

弹簧管
316L Stainless Steel
过程连接

Face-seal male, Face-seal swivel male,

Face-seal swivel female and 1/4" NPT male

表盘
White with Black markings, "Use no Oil" is red
表面抛光

Not Applicable

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