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压力和真空产品

创新型压力和真空测量仪器,全球领先的准确性与可靠性

无论何时当您测量测量流量时常常也需要测量压力或真空度 – 布鲁克斯仪器可以帮助您。数十年来布鲁克斯仪器始终是流量测量和控制技术领域的领军企业。如今我们已拥有全球领先的液体精准测量和控制技术,包括经认证的压力和真空度测量仪表系列产品、传感器、控制器、调节器和电容压力计,基本可满足所有苛刻的工艺需求。

我们的压力和真空度测量产品拥有全球领先的精度和可重现性,可帮助您对工艺效果进行微调。

布鲁克斯压力与真空技术为各大半导体 OEM、气柜供应商以及真空系统制造商所采用,产品领域涉及薄膜沉积系统和高科技专用炉。布鲁克斯仪器系列产品包括可在真空度 3000 psi 以下的范围内对压力进行精确测量和控制的调节器和传感器;我们的技术能够解决您在气体和真空度感测与调节方面所遇到的难题,具体涉及以下产品:

  • 超高纯度压力传感器,适用于要求最严格的气体测量应用
  • 不锈钢压力计、开关和发射器,适用于本地测量,测量结果准确并且经济高效
  • 行业领先的高精度电容压力计,适用于控制最关键的真空工艺

,
压力范围
-15 psi - 4,000 psi
精度
1% Full Scale
构造材料
Aluminum or Stainless Steel
压力范围

-15 psi - 3000 psi

精度

0.25 % Full Scale

认证和批准
CE, FM and ATEX
最大压力
4500 psia
最大温度
65°C
最大压力
500 psig
温度
65°C
压力范围

100 mTorr- 1000 Torr

精度

0.15 - 0.2% of Reading

温度范围
Ambient - 160 oC