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高纯和超高纯压力控制器

挑战:加强对压力控制的使用,提高工具性能

测量和控制工艺气体流量的每个系统可以同时提高沉积控制和工艺性能 - 从而准确测量和控制压力。许多晶圆厂使用集中散气源和蒸汽柜,服务于数十种工具;由于质量流量控制器的进口侧和出口侧之间的压力差不可避免,所以工具的效率和晶片质量(产率)只能通过实时压力管理来提高。

解决方案:PC100 系列超高纯数字压力控制器

PC100 系列基于成熟的 Brooks GF100 质量流量控制器技术,主要特点是:高纯全金属流道、传感器技术增强,以及便于设备评估和故障排除的先进诊断能力。

PC100 系列有一个专有的高耐腐蚀性 Hastelloy® C-22 传感器,在低设定点情况下的精度提高,在高温环境下具有优异的再现性,并具有增强的长期稳定性。通过结合能够实现更快响应和建立时间的功能,工具制造商和使用 Brook Instrument 半导体压力控制器的最终用户有可能减少停机时间,提高生产率。

产品

SLA7840
SLA7840
PC100 系列
PC100 系列
产品类型

Pressure Controller & Flow Meter

Pressure Controller
区别

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

压力控制范围

20:1

> 2 to 100%

流量范围-满量程容量

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

10 slm (N2 or H2 only)

精度

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

响应时间-常闭

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

重复性

±0.2% of rate

< ±0.2% F.S.

密封材料 Metal Metal
纯净等级

32 µ inch Ra

5 µ inch Ra

诊断能力 Available

Available

模拟通讯

0 - 5 Vdc

数字通讯 DeviceNet™

DeviceNet™