超高纯压力传感器与变送器

挑战:提高超高纯工艺过程中的气体控制

许多晶圆厂将大宗气源和气柜置于距离其所供工具的较远地方。这些气体都是全天候准确、受控输送,对工具的使用和正常运行时间至关重要,所以运行压力传感器和变送器(测量、跟踪和传达压力级,并在压力偏离设定值时生成警报)也同样重要。

解决方案:SolidSense II® 压力传感器

Brooks 的 SolidSense II® 压力传感器旨在处理当今最尖端半导体工艺和节点中使用的复杂、有时刺鼻的气体。该传感器无焊缝,采用耐腐蚀材料,满量程精确到 0.25% 以内。SolidSense II 传感器通过利用优质不锈钢机加工的独特单件式传感器,不论正在被测量的气体是什么,都表现出了优异的长期稳定性。

SolidSense II® 系列
SolidSense II® 系列
产品类型

Pressure Transducers

区别 Ultra-High Purity
压力范围 -15 psi - 3000 psi
构造材料 Housing: Stainless steel, polymer plastics
模拟通讯 0-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0.2-5.2 Vdc, 2-10 Vdc, 4-20 mA



认证和批准

EMC: Compliant to EU Directive 2004/108/EC

FM Approved: Non-Incendive for use in Class I, Div II Groups A, B, C and D Hazardous Applications