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高纯和超高纯压力开关与变送器

挑战:寻找经济有效的方式来更好地控制压力

要提高对工艺气体压力的控制,则需要通过气体输送系统在关键点精确测量压力,不仅仅是在质量流量控制器的任一侧。如果压力偏离设定值,有可能是一个关键管节或隔离点有泄漏或被堵塞。

解决方案:成熟的 Brooks Instrument 压力开关与变送器

Brooks Instrument 的半导体和和全球工业生产设备将经济有效的成熟功能与卓越的通用性相结合,采用耐用设计和材料,生产各式压力表、压力开关和变送器,为高纯半导体气体输送过程提供可靠、精确的性能。