Skip To Content
产品 质量流量控制器 橡胶密封 GF40 系列

GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器

一台设备，适用于多种气体和多种流量，无与伦比的灵活性

使用一台设备应对多种气体相当于实现了工艺灵活性和生产效率最大化。采用布鲁克斯仪器独有 MultiFlo™ 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。该产品与前所未有的流量测量和控制性能相结合，能够将工艺灵活性提升至新高度。

如有疑问

请与我们的应用工程专家取得联系:

联系电话: + 86-21-38720770 传真

得到报价

GF40 系列数据表

特点

  • 可编程多气体/多量程功能
  • Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包含数千种天然气体测定结果，可用于建立修正函数
  • 流量响应时间不足 1 秒，精度可达目标应用设定值的 1%
  • 非常适用于各种气体
  • 快速响应，哈氏合金传感器
  • 拥有独立于工具通信并可轻松接入的诊断服务端口
  • 多协议通信选件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模拟接口

优势

  • MultiFlo™ 技术能够在不拆除管路中 MFC 的条件下设定新气体和满量程，从而最大限度延长运行时间
  • MultiFlo™ 编程功能简单、易用；60 s 内即可完成新气体的选择操作
  • 可大幅降低设备商和大型终端用户的流量控制器库存
  • 得益于基于国际标准的高级计量系统和校准技术，产品拥有出色的工艺气体测量精度
  • 耐腐蚀传感器拥有无可比拟的长期稳定性，可确保良率和产能最大化
  • 对用户开放的服务端口简化了故障排除和诊断操作
  • 各种橡胶密封件为各种应用提供了经济实惠的性能灵活性
  • 多协议通信接口可集成至现有系统

应用

  • 太阳能电池化学气相沉积
  • 生命科学实验室
  • 真空处理
  • 纳米技术/MEMS 制造
  • 等离子体、玻璃和卷绕镀膜系统
  • 非常适用于管汇系统/气体输送系统
{401C5C5F-E447-4C89-AE9A-7AB9531800B5}
产品类型
Mass Flow Controller
{85D6B977-1CF9-4752-8A3D-4A1088016856}
区别

High Accuracy

MultiFlo™ Capability

Compact Size

Suitable for Full Suite of Gases

{4E6BA170-D9B9-4E88-B422-6E7D941017EB}
性能
{B8CBEAA1-9B67-4F93-8C9E-128F709C488F}
流量范围-满量程容量
3 sccm - 50 slpm
{4091AF3B-8E51-462D-AB96-3C8C5F50CACB}
精度

1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

{430B01B9-6AC3-4A2E-A47E-3EE4A08AAC87}
重复性

0.20% SP

{279F2CEC-549F-4FEB-8417-236707ACE451}
线性

±0.5% FS (included in accuracy)

{D598FBEC-ADC6-4536-B3FE-F81D371B5B9B}
响应时间-常闭

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

{55583860-F6FB-4C11-9221-42CEA7121314}
多气体多量程
MultiFlo™ Available
{9B669EE1-BBCF-4001-A23E-82E1E01BD337}
控制范围

2-100%

                                        

 

{595E4D12-1536-4B83-9EA7-07DC8C5FDD44}
Bin的数量

10 Bins

{0EDA30F7-20EC-43A9-BB2F-971CE3D90ECF}
阀门关闭

Closes valve when set point drops below 1.5% full scale

{F0FE01D0-412B-473D-B2A9-716EEFEBB8FB}
零点稳定性
<±0.5% FS per year
{177D8BF4-A5BA-4507-A921-1CCC1217ACB6}
压力系数

0.03% per psi (0-50psi N2)

{EDF6FC6E-51A3-471C-936C-0EAFAE78FF3E}
等级
{170B6E7F-8429-42D4-884E-8CDA7CA51329}
温度范围

5-50oC (41-122oF)

{7B7D20F0-4595-4BAB-A1F6-052EC6D9D08F}
最大压力

150 psig/10 bar

{5B0169F5-649F-4B58-9FB4-EC506037713E}
压差范围

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Contact Brooks Technical Support for more information.

{979D5D9B-7109-4C2E-9E3C-48AEF44743DA}
漏率
1x10-10 atm cc/sec He
{B630BC60-9E07-427E-B377-5B0810A2B020}
机械
{D3A18DDA-24FC-4D77-B17D-7D9C82FE20F4}
密封材料
Elastomer Seal
{B48DDCAE-901A-499D-9C22-FEEA1BE3CB6B}
表面抛光
32µ inch Ra
{A7F69D55-8885-4FA3-9030-108E9CF720AA}
接液材料

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

{CE6916E3-668E-4AED-8555-49F4C1D958ED}
阀门

Normally Closed

Normally Open

Meter (no valve)

{4825F789-6AC0-452E-9B5A-D1B345D4D5C0}
诊断
{E30F071F-D5C1-47C2-B303-2ED8AAAA9844}
诊断能力

Available

{87C6F242-81D8-4670-8268-FB09DB343DBC}
诊断/服务端口

Available

{FF050C1C-9989-499B-8DDD-D145556C5119}
电气
{DB7C7415-9565-4D3C-BF20-3004CB2E2DBC}
模拟通讯

0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

{F0D53125-7F59-4D1D-8A06-C458BD6D5F65}
数字通讯

DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485

{EF8D242D-4752-40C5-8428-06E05B5D5044}
电气连接
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
{122753E9-9ECE-4B29-AD62-90D09D883D95}
电源-功耗
Analog / RS-485

From +12 Vdc to +24 Vdc: 7 Watt/8 Watt

DeviceNet™

From +11 Vdc to +25 Vdc: 7 Watt/8 Watt

EtherCAT® / Profibus®

From +13.5 Vdc to +27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
{F76C62CC-4EBB-4D9E-8BEB-C9196A1B4B50}
承诺
{D0EB512E-048B-46F6-B187-BB52DF7C2682}
认证和批准

CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Safety EN61010-1

{C411D614-A5D2-4FD1-BCB2-A4441DF2D33A}
符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

{2B5B0F79-5BB4-4E84-BC1A-630F6CB50DB4}
大小
Compact
文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet pdf English French German Japanese Spanish
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual pdf English
Profibus® Supplemental Manual pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual pdf English
0250 读数应用
0250 读数应用
Controls and powers up to 4 devices
0260 系列
0260 系列
Controls and monitors up to 30 devices, powers up to 10 devices.
Brooks Expert Support Tool (BEST)
Brooks Expert Support Tool (BEST)
A Windows™ based application providing expanded control of Brooks Instrument MFCs and Pressure Controllers.
Brooks LabVIEW™ DLL
Brooks LabVIEW™ DLL
能让用户与布鲁克斯的数字质量流量控制计，压力控制计和二次仪表建立通讯。DLLs是在用户需要在LabVIEW™创建自己新的应用时使用。
Smart DDE 软件
Smart DDE 软件

Dynamic Data Exchange software allows user to make bi-directional links between Windows® based applications and Brooks Instrument RS485 S-Protocol devices.