{BCA9C0AC-E96E-4B94-AE15-7B4228262145}
{B246FED7-D61D-4FCD-919D-6C995CA5B0E7}
특장점
폭 넓은 유량 및 압력 범위
탁월한 장기간 안정성
높은 정확도
{CBF2CEFF-A229-420A-9035-CD04B4545A5B}
{5A23D76C-7B5E-4E89-9376-77F6304B45B9}
유량 범위(최대 용량)
0.003~2500 slpm
{428A2EC5-4C25-4E09-81A6-545F4AB42529}
정확도
17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준)
±0.6% SP(20~100% FS)
±0.12% FS(<20% FS)
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS
표준 장치(참조 표준으로부터의 불확도 포함)
±0.9% SP(20~100% FS)
±0.18% FS(2~20% FS)
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS
{230972BF-33D9-4EAC-955E-AA851F303FF0}
{234FC6FF-6AB6-4E86-AA76-01D885F78CB1}
{CC9E4BCC-488C-4071-9E07-B628DD74492B}
응답 시간
0.003-100 slpm: < 1초
100-2500 slpm: < 3초
{ED6A2251-28D8-426E-BE29-E5A427527DA6}
{D3EECBE4-E4C4-480B-B7BC-3471E980693E}
최대 압력
0.003~200 slpm: 1500 psi/103 bar
100~2500 slpm: 1000 psi/70 bar
최대 50 slpm 장치에서 옵션 4500 psi/310 bar
{019F5616-217F-45C7-98FA-E1A1448DB24F}
제어 범위
1~50 slpm: 100:1 Turndown for FS
50~2500 lpm: 50:1 Turndown for FS
{5DF8BF5E-B867-47E2-94A6-6E0B802CCE38}
{6BB26554-6972-43A0-8A21-78539BD33AA3}
유량 온도 계수
Zero: <0.05% FS / °C
Span: <0.1% SP / °C
{2E3B7CDB-D70E-4AF0-8A17-34BE54B6ACF8}
압력 계수
0.03% per psi (0-200 psi N2)
{9F025ABC-15B3-4DBB-85B6-FA5635B987B5}
위치 저감도
Re-Zeroing 후 명시된 정확도로부터 <0.2% FS 최대 편차
{DA1D3822-AE0E-44BC-8119-70E5A10AB8B7}
{61B5A28A-434C-4A06-8E5E-658CE44AFEFF}
{96E514EF-F0C4-4D65-AD22-3E75349C18D7}
차압 범위
제어기
0.003~50 lpm: 5 psi/0.35 bar
50~100 lpm: 10 psi/0.69 bar
500 lpm: 7.5 psi/0.52 bar
1000 lpm: 14.5 psi/1.00 bar
2500 lpm: 35.0 psi/2.41 bar
{6C910163-3A2B-4347-B4B6-797AE098760A}
누출 무결성
1x10° atm cc/sec He
{E5D9B237-7A80-4A23-B2AD-757FCF6E0172}
{9A184087-63A6-44C5-B07E-DDAB166E24F5}
{0EA6B211-0F14-4403-BC05-6C0AC667C3EB}
습윤 재료
316L 스테인리스강
고합금 스테인리스강
Viton® Fluoroelastomers
Buna-N
Kalrez®
Teflon®/Kalrez®
EPDM
{AC829BE9-FFD8-4858-AE7C-D1D90864D3EA}
밸브
Normally Closed
Normally Open
계측기(밸브 없음)
{413CB4D8-5055-468B-8E26-89970F8257E1}
{0B728A39-317A-400A-8386-1EA9B8CBB704}
{E0456E94-5D71-4AFD-B438-3EB3CF5ACE74}
{3EBB4410-630B-4429-80F1-36DE58FDE1D1}
알람
센서 출력
제어 밸브 출력
온도 과부하
전원 Power Surge/Sag
네트워크 간섭
{2D5F0044-413E-49D3-8114-0AADBDBD69A8}
독립 진단 서비스 포트
RS485(2.5mm Jack)
{1E73D34A-5790-43A8-A62A-A4B150C28FFD}
{7E36C0F3-2B6D-4140-88CB-93D8102240B1}
아날로그 통신
0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
{ED592BD2-3896-4E5A-9F82-971C781283FE}
디지털 통신
DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485
{891ECC5C-09D5-4C00-BFAD-6C5F5863A253}
전기 연결
DeviceNet™: 1xM12 with threaded coupling nut (B)
EtherCAT®, EtherNet/IP™: 1x5-pin M8 with threaded coupling nut/2xRJ45
Profibus®: 1x15-pin Male Sub-D/1x9-pin female Sub-D
RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
{2ACAC3B8-6D09-4358-AB61-0C5492CAE460}
전원 공급/소비
Analog / Profibus® / RS-485
Valve Orifice > 0.032": 8 Watts
Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts
Without Valve: 2 Watts
DeviceNet™ / EtherNet/IP™
Valve Orifice > 0.032": 10 Watts
Valve Orifice ≤ 0.032": 7 Watts
Without Valve: 4 Watts (DeviceNet™), 3 Watts (EtherNet/IP™)
EtherCAT®
Valve Orifice > 0.032": 8.5 Watts
Valve Orifice ≤ 0.032": 5.5 Watts
Without Valve: 2.5 Watts
{79F2EC4C-FB0C-4DF7-A2B4-CA70E0EC31A7}
{AD8FC90E-B0D9-487F-8EC6-4D24857161A8}
인증/승인
ISO/IEC 17025:2005
CE: EMC 지침 2014/30/EU
지침 2011/65/EU
UL(공인):
I등급, 2부, A, B, C, D 그룹
I등급, 2 구역, IIC T4
II등급, 22 구역
ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
KOSHA: Ex nA IIC T4
{F058B188-C1EE-4978-A425-FDD3B2E17B2E}
환경 규정 준수
RoHS (2011/65/EU)
REACH EC 1907/2006
{81B573EB-B510-4FC1-8696-780E74843FAD}