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GF135 シリーズ メタルシールサーマルマスフローコントローラ

性能と知性が特長
モデル GF135

GF135高度診断PTI(圧力変動耐性)マスフローコントローラにより、重要な流量プロセスの的確性を維持し、スループットを最大限に向上します。世界初の「小型」マスフローコントローラは、市場に大変革をもたらします。プロセスガスの流量を停止せず、減衰法流量測定を実施します。これによって、半導体メーカーは、フローコントローラをガスラインから取り外さず、プロセスガス精度を検証し、バルブリークをチェックするだけでなく、リアルタイムでセンサ安定性を監視することができます。

オールメタル製接ガス部流路、超高速セトリングタイム、業界をリードするプロセスガス精度を組みわせ、GF135 PTI MFCは、幅広い蒸着・形成プロセス向けに生産性とスループット率を変えることができます。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

GF135 データシート

特長

  • 長期的なゼロ点安定性:0.5%フルスケール/年以下
  • 超高速セトリングタイム:300 ms以下 - 400 ms以下
  • フルスケール流量レート:3 sccm~5 slm
  • 超高清浄度流路 - 4µ インチRa表面仕上げ
  • ROD(減衰)法を使用したリアルタイムな流量異常検出および傾向表示を組み込み
  • 実ガステストにより最適化された高度なガスモデリングでプロセスガス精度の向上(最大3倍の向上)
  • 第三世代PTI(圧力変動耐性)テクノロジー
  • 可視性の高い電動回転式LCDディスプレイで、流量、温度、圧力、ネットワークアドレスをローカル表示
  • DeviceNet™、RS-485、アナログインターフェース

メリット

  • リアルタイムな流量異常検出により、流量偏差を素早く調整し、ウェハの収率を向上
  • センサの安定性追跡により、予測メンテナンスをサポートし、システムの生産稼働時間を向上
  • バルブリーク追跡機能により、初期ウェハ効果を最小限に削減
  • プロセスガス精度を向上し、10 nmでプロセスガスの化学制御の課題を解決
  • 市場をリードする流量セトリングタイムにより、非生産的な流量安定化ステップを削減し、高度な3Dデバイス処理をサポート
  • 圧力変動耐性を改善することで、エッチングおよび蒸着/形成コントロール向けの優れたプロセスガス制御を提供
  • 耐腐食ハステロイ製センサにより、最大の収率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供
  • 表面実装やVCR MFCを置き換えることにより、既存のシステムで不可欠なガスラインを容易にアップグレード

用途

  • 半導体高度エッチングツール
Product Type
Mass Flow Controller
Differentiator

Real-Time Flow Error Detection

Advanced Diagnostics

Performance
流量範囲(フルスケール容量)

3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)

Pressure Insensitivity

< 1% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

精度

±1% S.P. 10-100% F.S.

±1% S.P. plus ±0.04% F.S. 2-10% F.S.

Repeatability
< ±0.15% S.P.
Linearity

Included in accuracy

Response Time - NC

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

Multi-Gas Multi-Range

Control Range

1 - 100%

Valve Shut Down

< 0.5% of F.S. N2

Zero Stability
< ±0.5% F.S. per year
Temperature Coefficient

Span: 0.05% S.P./°C

Zero: 0.005% F.S./°C

Mechanical
Seal Material

Metal

Level of Purity
4µ inch Ra
Wetted Materials

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Valves

Normally Closed

Ratings
最大温度

50oC

Differential Pressure Range

3-860 sccm = 7-45 psid

861 - 5000 sccm = 10-45 psid

*Typical pressure drops. Contacts Brooks Technical Support for more information.

最大圧力

100 psia max

Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnostics and Display
Diagnostic Capability
Available

Status Lights

MFC Health

Network Status

Alarms

Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption, Sensor Drift, Flow Error, Valve Leak

Diagnostic - Service Port

RS485 via 2.5mm jack

Display

Top Mount Electronically Rotatable Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Electrical
Analog Communication

0-5 Vdc

Digital Communication

DeviceNet™

RS485

Electrical Connection

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Power Supply - Consumption

Analog/RS485: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

Compliance
EMC

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Environmental Compliance

RoHS Directive (2011/65/2006)

REACH Directive EC 1907/2006

GF135
流量範囲(フルスケール容量) 3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)
Response Time - NC

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

Gases

Ar, BCl3, C4F6-q (@ 800 Torr), C4F8 (@ 1200 Torr), C5F8, CF4, CH2F2, CH3F, CHF3, Cl2, CO2,

H2, HBr, He, N2, N2O, NF3, NH3, O2, SF6, SiCl4 (@ 100 Torr), SiH2Cl2, SiH4, SiHCl3

Rate of Decay ROD by default is disabled/off. It should not be enabled until after the MFC is installed and properly commissioned.
Surface Finish 4µ inch Ra
FilenameFile TypeDocuments By Language
mass-flow-controller-data-sheet-GF135 pdf Japanese English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
FilenameFile Type
GF135-CX-G2 STEP
GF135-CX-G2 IGS
GF135-CX-G2 DXF
Commissioning software that provides users with a simple means to create a performance baseline during initial installation of the MFC.