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5850EM シリーズ メタルシールサーマルマスフローコントローラ

実証された長期安定性。高圧アプリケーション向けの超高清浄性能
モデル 5850EM / 5851EM

5850EMシリーズメタルシールマスフローコントローラは、幅広く使用されている5850E & i シリーズ MFCの性能に基づく安定性を備え、清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要ありません。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

5850EM シリーズデータシート

特長

  • 長期的なゼロ点安定性:0.2%フルスケール/年以下
  • 3秒以下のセトリングタイムで、微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応
  • 幅広い流量レンジ – 3 sccmから30,000 slpm
  • 定格高圧力 - 最大1,500 psi
  • オプションの強化されたプロセス内部仕上げ - 平均5µインチRa
  • 取り外し可能な流量センサ
  • 取付姿勢の影響なし
  • 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性
  • TTL準拠の「バルブオフ」およびパージ機能

メリット

  • ガス清浄度を向上し、リークを削減するメタル製流路
  • 幅広いプロセスとアプリケーション範囲で実証済みの長期安定性と精度
  • 信頼性の高いパフォーマンスにより優れた投資利益率を提供
  • 連続監視とガス圧の最調整が必要ない取り外し可能な流量センサ
  • アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易

用途

  • ファイバオプティック
  • LED / MOCVD
  • 半導体
  • ソーラー
機種
Mass Flow Controller
特長

Large installed base with proven long term performance

Performance
流量範囲(フルスケール容量)
.06 sccm - 30,000 sccm
精度

1% F.S. incl. linearity

1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm

Repeatability

0.2% of rate

Linearity

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Response Time - NC

Normally Closed Valve: <3 sec

Optional: 600 msec

Multi-Gas Multi-Range

Pressure Insensitivity
Control Range

2-3% - 100%

Number of Bins

N/A

Valve Shut Down

N/A

Zero Stability
< ±0.5% F.S. per year
Mechanical
Seal Material
Metal
Level of Purity

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel

Wetted Materials

Valve Seat: 316L, Viton® fluoroelastomers, Buna-N, Kalrez® or Teflon®

Valves

Normally Closed, Normally Open

Meter (no valve)

Ratings
最大温度
65oC
Differential Pressure Range

5 - 50 psi (gas and range dependent)

最大圧力

1500 psi

Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnostics and Display
Diagnostic Capability

Status Lights
MFC Health, Network Status
Alarms

Control Valve Output, Network Interruption

Diagnostic - Service Port

N/A

 

Electrical
Analog Communication

4-20 mA

0-5 Vdc

デジタル通信

Electrical Connection

15 Pin D Connector (DA-15P)

Power Supply - Consumption

Normally Closed valve: 3.25 watts

Normally Open valve: 10.5 watts

Compliance
電磁環境適合性

(89/336/EEC) per 61326

環境法令遵守

N/A

5850EM 5851EM
特長
流量範囲(フルスケール容量)

.06 sccm - 30,000 sccm

10 - 100 slpm Nitrogen
Surface Finish

5 Ra internal finish (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Enhanced process (5 Ra avg.) internal surface finish(optional)

High purity VAR 316L Stainless Steel

精度

1% F.S. including linearity

1.5% F.S. including linearity (>20 slpm)

1 % F.S. including linearity

Repeatability

0.25% Rate

0.2% Rate

Response Time - NC

Normally Closed Valve

<3 sec

Normally Closed Valve

<3 sec

Multi-Gas Multi-Range

N/A

N/A

Pressure Insensitivity

.008% per psi Nitrogen

0.03% per psi up to 150 psig

Diagnostic Capability

MFC Health, Network Status

MFC Health, Network Status

Analog Communication

4-20 mA

0-5 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc

デジタル通信

N/A

 

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - 5850EM pdf English
Installation & Operation Manual - 5851EM pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

4デバイスまでのコントロールと権限