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ゴールデンウィーク期間 営業日ならびに休業日のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、4月28日(土)~4月30日(月)、5月2日(水)~5月6日(日)の期間は休業日となります。5月1日(火)は平常営業いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

9861 シリーズ高温マスフローコントローラ/メータ

高温での流量制御の精度と効率性を向上
モデル 9861

ブルックスインスツルメントの9861シリーズ高温サーマルマスフローコントローラ/メータは、プリカーサやドーパントの高温供給における厳しい条件に合わせて作られており、あらゆるプロセスガスや気体に対応する清浄度・リークインテグリティの高いメタル流路を備えています。特許取得のIsoSensor™ は、加熱ガスラインやベーキングシステムなど環境温度が上昇する条件にも対応する安定性の高いフローセンサです。IsoSensor™ の優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正(再調整)や再キャリブレーションの必要性を低下させています。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

9861 シリーズ データシート

特長

  • 安定性の高いIsoSensor™ 流量測定センサ(特許取得済み)
  • 極めて正常性の高い流路
  • アナログコネクタが2本付属。リモートエレクトロニクスを標準装備
  • デジタル測定と制御アーキテクチャ

メリット

  • 安定性の高いセンサにより、稼働時間が向上し、メンテナンスの必要性とCOOを削減
  • フルメタルのガス流路で、ガス/気化ガスのインテグリティと清浄度を保持
  • 20ピンカードエッジ、および9ピンまたは15ピンのDコネクタが付属.
  • 標準化が可能で、予備品在庫を削減
  • 精度とプロセス制御を向上

用途

  • 光ファイバー製造 - MCVD
  • シリコン半導体装置製造プロセス
機種
Mass Flow Controller
Differentiator

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

Performance
流量範囲(フルスケール容量)
10 slm (N2 equivalent)
精度

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

Repeatability
<±0.15% FS
Linearity

±0.5% FS (included in accuracy)

Response Time - NC

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Zero Stability
<±0.5% FS per °C
Mechanical
Seal Material
Metal
Level of Purity
4 μ inch Ra
Wetted Materials

316L SS/ KM-45/ 304 SS/ MO+

Valves

Normally Closed

Meter (no valve)

Ratings
最大温度
150oC
Differential Pressure Range

1.33 - 350 kPa (10 torr - 50 psia)

*Contact Brooks Technical Support for more information.

最大圧力

620 kPa (90 psi)

Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
Electrical


Diagnostic Capability
Analog Communication

0-5 Vdc

デジタル通信

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

Electrical Connection

Analog via 9- or 15-Pin "D" connector & 20 Pin Card Edge connector

Power Supply - Consumption

Controller (Analog & RS-485L): 5 Watts max @ ±15 Vdc (160 mA max)

Meter (Analog): 5 Watts max @ ±15 Vdc (50 mA max)

9861
流量範囲(フルスケール容量) 3 sccm - 10 slm (N2 equivalent)
Surface Finish 4µ inch Ra
精度

±1% SP @ 35 - 100% FS

±0.35% FS @ <35% FS

Repeatability < ±0.15% FS
Response Time - NC

1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

 

Analog Communication

0-5 Vdc

デジタル通信

RS485L Protocol

 

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
FilenameFile Type
9861-4R-U STEP
9861-4R-U IGS
9861-4R-U DXF