9861 シリーズ高温マスフローコントローラ/メータ

高温での流量制御の精度と効率性を向上
モデル 9861

ブルックスインスツルメントの9861シリーズ高温サーマルマスフローコントローラ/メータは、プリカーサやドーパントの高温供給における厳しい条件に合わせて作られており、あらゆるプロセスガスや気体に対応する清浄度・リークインテグリティの高いメタル流路を備えています。特許取得のIsoSensor™ は、加熱ガスラインやベーキングシステムなど環境温度が上昇する条件にも対応する安定性の高いフローセンサです。IsoSensor™ の優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正(再調整)や再キャリブレーションの必要性を低下させています。

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電話:03-5633-7100

9861 シリーズ データシート

特長

  • 安定性の高いIsoSensor™ 流量測定センサ(特許取得済み)
  • 極めて正常性の高い流路
  • アナログコネクタが2本付属。リモートエレクトロニクスを標準装備
  • デジタル測定と制御アーキテクチャ

メリット

  • 安定性の高いセンサにより、稼働時間が向上し、メンテナンスの必要性とCOOを削減
  • フルメタルのガス流路で、ガス/気化ガスのインテグリティと清浄度を保持
  • 20ピンカードエッジ、および9ピンまたは15ピンのDコネクタが付属.
  • 標準化が可能で、予備品在庫を削減
  • 精度とプロセス制御を向上

用途

  • 光ファイバー製造 - MCVD
  • シリコン半導体装置製造プロセス
{A20011D5-683C-490E-B4CD-EE579093A5C6}
製品タイプ
Mass Flow Controller
{CBF4FD4D-CE24-4C7D-9D56-4D41A10F5B8A}
差別化要因

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

{CAD8854A-287E-4ED2-AC93-15A6E05D0E3A}
パフォーマンス
{E8262BB0-3AA1-4551-AC72-BE307940CA15}
流量範囲(フルスケール容量)
10 slm (N2 equivalent)
{824BAA21-5BC9-4F88-A8E7-D22AF3AF0D20}
精度

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

{BF9194EC-A2F4-4E97-9159-618027CF7039}
再現性
<±0.15% FS
{58B624C6-C290-47B4-AA1F-251F8C96F355}
Linearity

±0.5% FS (included in accuracy)

{0EFDF622-0BA3-41EA-AA47-62F397B5A7DE}
Response Time - NC

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

{26BD560D-3312-4EAC-9C30-2DE7D92CBB0A}
Zero Stability
<±0.5% FS per °C
{CB1577DB-8FD1-46BD-91CB-5CC71DF2459C}
メカニカル
{04E0F69D-D90A-45BF-A829-268407403732}
シール材
Metal
{D04C0426-191D-409C-977D-14EADE8684EB}
Level of Purity
4 μ inch Ra
{F6731195-1EAE-4E90-8CB5-F389B6EC2B8E}
Wetted Materials

316L SS/ KM-45/ 304 SS/ MO+

{9022F4F6-F2C1-4294-9370-B2062A70D822}
Valves

Normally Closed

Meter (no valve)

{A13A01CD-108C-46FD-806C-D1B45508FE91}
評価
{569EE9BF-0811-4AED-AC79-CF44B7A5A1BF}
最高気温
150oC
{BBA5E8AE-CFCE-40C6-AA39-F480974398A1}
Differential Pressure Range

1.33 - 350 kPa (10 torr - 50 psia)

*Contact Brooks Technical Support for more information.

{CF58B0E8-F777-456F-B8A4-3B835E603257}
最高圧力

620 kPa (90 psi)

{4866EC39-7F22-4B9F-972B-4C5FA55D6920}
Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
{6A2E03D6-A721-4A16-B083-45FB4ED6CE07}
Electrical


{07C2BA46-FFB3-4949-A447-8B6464F581D8}
Diagnostic Capability
{1ACCA391-8001-44CB-AC46-95AC43849DCD}
アナログ通信

0-5 Vdc

{7E43B8A4-07B4-44F2-B751-18DBC16E323A}
デジタル通信

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

{498BD734-305A-4FD6-B927-5037B9B93915}
Electrical Connection

Analog via 9- or 15-Pin "D" connector & 20 Pin Card Edge connector

{0E109AAD-3260-4A46-B322-6D8937422B1D}
Power Supply - Consumption

Controller (Analog & RS-485L): 5 Watts max @ ±15 Vdc (160 mA max)

Meter (Analog): 5 Watts max @ ±15 Vdc (50 mA max)

9861
流量範囲(フルスケール容量) 3 sccm - 10 slm (N2 equivalent)
Surface Finish 4µ inch Ra
精度

±1% SP @ 35 - 100% FS

±0.35% FS @ <35% FS

再現性 < ±0.15% FS
Response Time - NC

1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

 

アナログ通信

0-5 Vdc

デジタル通信

RS485L Protocol

 

Filename File Type Documents By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Filename File Type
9861-4R-U STEP
9861-4R-U IGS
9861-4R-U DXF