ブルックスインスツルメントの9861シリーズ高温サーマルマスフローコントローラ/メータは、プリカーサやドーパントの高温供給における厳しい条件に合わせて作られており、あらゆるプロセスガスや気体に対応する清浄度・リークインテグリティの高いメタル流路を備えています。特許取得のIsoSensor™ は、加熱ガスラインやベーキングシステムなど環境温度が上昇する条件にも対応する安定性の高いフローセンサです。IsoSensor™ の優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正（再調整）や再キャリブレーションの必要性を低下させています。