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Serie GF80 metallgedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte

Setzt einen neuen Standard für die Leistungsfähigkeit preisorientierter metallgedichteter Anwendungen
Modelle GF80 / GF81
Für viele Industrie- und Halbleiterprozesse sind sowohl die Leistungsfähigkeit als auch die Wirtschaftlichkeit ausschlaggebend. Die metallgedichteten Massedurchflussregler und -messgeräte der Serie GF80 liefern beides: Entwickelt unter Verwendung desselben schnell ansprechenden Sensors und der patentierten MultiFlo™ Technologie der 4. Generation wie in unserem meistverkauften Modell der Serie GF100 ist dies die richtige Lösung für Applikationen, wo hohe Leistung bei wirtschaftlichem Preis benötigt wird. Der Wechsel zu einem metallgedichteten Massedurchflussregler bringt alle Vorteile der MultiFloTM Multigas/Multirange Technologie: Es bestehen keine Einschränkungen für die verwendbaren Gase, aufgrund des Entfalls von Sauerstoffpermeation durch die Elastomere ist eine verbesserte Gasreinheit gegeben und weil Metalldichtungen unbegrenzt halten, reduziert sich der Wartungsaufwand.

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Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg - Oberflächenrauigkeit Ra 0,4 µm
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® Sensor kann für Gase, die anfällig für thermische Zersetzung sind, bei niedrigeren Temperaturen arbeiten.
  • MultiFlo™ Technologie:  ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler und ohne Genauigkeitskompromisse
  • Die in dieser Klasse beste Temperaturkoeffizientspezifikation aufgrund der aktiven Temperaturkompensation
  • Eingebaute Selbsttestroutinen und unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss
  • Schlankes Gehäuse mit VCR-Verschraubungen oder Downport
  • DeviceNet™, Profibus®, RS-485- und analoge Schnittstellen

Vorteile

  • Keine Gasverschwendung und keine Prozessschwankungen dank der schnellen Durchflusseinschwingzeit von <1 Sekunde
  • Keine Elastomerdichtungen, die wegen möglicher Sauerstoffpermeation nach gewisser Zeit auszutauschen sind
  • MultiFlo™ vereinfacht und beschleunigt den Prozessgaswechsel — Keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich
  • Neue Gase und/oder Bereiche lassen sich in weniger als 60 Sekunden einstellen.
  • Keine Beeinflussung der Messgenauigkeit durch Temperaturschwankungen
  • Maximale Verfügbarkeit durch komfortabel zugänglichen Diagnoseanschluss
  • Kompakte Bauform erleichtert die Integration in engen Gasversorgungsschränken; hervorragende Wahl für Nachrüstungen
  • Die Multiprotokoll-Kommunikationsschnittstelle vereinfacht die Integration in bestehende Systeme

Anwendungen

  • Wirtschaftliche Umrüstung/Nachrüstung älterer Massedurchflussregler-Versionen in generalüberholten Halbleiterprozessgeräten
  • Verringerung des Massedurchflussregler-Lagerbestands in der Halbleiterfabrikation
  • MOCVD-Verfahren für die LED- und Leistungshalbeiter-Fertigung
  • Systeme für chemische Solar-/Dünnschicht-Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD)
  • Analytische OEM-Ausrüstung
Gerätetyp

Mass Flow Controller

Unterscheidungsmerkmal
High Purity
Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 300 slm
Genauigkeit

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

Wiederholbarkeit
< ±0.2% S.P.
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: <1 sec

Multi-Gas & Range Configurability
MultiFlo™ Available
Druckschwankungsabhängigkeit
Regelbereich

< 5% - 100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

Schleichmengenunterdrückung

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 4% of Standard Configuration F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv.

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad
16µ inch Ra
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel

Hastelloy C-22

17-7 PH

430SS

KM-45

Ventil

Normally Closed

Meter (no valve)

Kennwerte
Maximale Temperatur
50oC
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(typical pressure drops)

Maximaler Druck

Standard GF Series: 150 psig (10 bar)

High Flow GF Series: Meter = 75 psig (5 bar), Controller = 150 psig (10 bar)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
Available

Statuslampen
MFC Health, Network Status
Alarm

Control Valve Output, Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack (all models)

 

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)

Elektrischer Anschluss

Profibus/Analog via 9-Pin "D" connector

RS485/Analog via 9-Pin"D" connector, 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Spannungsversorgung

Standard GF Series:   RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 7 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 7 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 13.6 Watts max

High Flow GF Series: RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 3.3 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 3.3 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 3.3 Watts max

Beachtung
EMV

CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Einhaltung von Umweltvorschriften

Safety EN61010-1

RoHS

GF80 GF81
Unterscheidungsmerkmal

High Purity

Low Flow Rate

High Purity

High Flow Rate

Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm 51 - 300 slm
Oberflächenbeschaffenheit 16µ inch Ra 16µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. 5-35%

Wiederholbarkeit < ± 0.2% S.P.

0.15% S.P.

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve

<1 sec

Normally Closed Valve

<1 sec

Multi-Gas & Range Configurability MultiFlo™ Available

Druckschwankungsabhängigkeit
Diagnosefähigkeit

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Control Valve Output, Network Interruption

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Control Valve Output, Network Interruption

Analoge Kommunikation

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

Digitale Kommunikation

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol

DeviceNet™

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
Use the model code information from the data sheet to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
DateinameDateityp
GF080-VX-DNET STEP
GF080-VX-L4 STEP
GF080-VX-R STEP
GF080-VX-S4 STEP
GF080-VX-S5 STEP

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Steuert und Überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Smart DDE ist ein Softwareprodukt von Brooks für den dynamischen Datenaustausch. Es ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und den Brooks® RS485-S-Protocol Geräten.