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Serie GF100 metallgedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte

Hochreiner Strömungsweg. Herausragende Leistung, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit
Modelle GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121
Schnell ansprechende und wiederholbare Bereitstellung von Prozessgasen hoher und ultrahoher Reinheitsstufe —diese Leistung bieten die metallgedichteten Massedurchflussregler und -messgeräte der Serie GF100. Entwickelt für Halbleiter, MOCVD und sonstige Gasdurchflussregelanwendungen, übertrifft die Serie GF100 den Halbleiterindustriestandard für Zuverlässigkeit und stellt eine wiederholbare, in hohem Maße dauerstabile Leistung sicher. Die MultiFlo™ Standardtechnologie ermöglicht einem Massedurchflussregler die Unterstützung unzähliger Gasarten, ohne Demontage des Geräts von der Gasleitung oder Genauigkeitskompromisse.

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Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten: 700 ms - <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,1 µm oder 0,25 µm
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen.
  • MultiFlo™ Technologie: ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler und ohne Genauigkeitskompromisse
  • Lokale Anzeige
  • Optionales sicheres Gas-Bereitstellungssystem (SDS)
  • DeviceNet™, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen

Vorteile

  • Im Dauerbetrieb entsprechend dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards auf Zuverlässigkeit getestete Hochleistungkomponenten
  • Korrosionsbeständiger, vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg mit reduzierten Oberflächen und Totvolumen sorgt für schnelleren Gaswechsel während der Spülprozesse.
  • Mit MultiFlo™ lassen sich neue Prozessgase und/oder Bereiche in weniger als 60 Sekunden einstellen – keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich.
  • Umfangreiche Konfigurations- und Anschlussoptionen sorgen für problemlosen Austausch und Ersatz der meisten Marken metallgedichteter Massedurchflussregler, einschließlich der früheren Marken Celerity, Mykrolis, Tylan und UNIT.
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®, sicheres Bereitstellungssystem) ist ein druckverlustarmer Massedurchflussregler mit dem sichere Bereitstellungssysteme (SDS) für die Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse realisiert werden können.
  • Komfortables Benutzerdisplay und unabhängiger Diagnose- und Serviceanschluss unterstützen die 
  • Geräteinstallation, Überwachung und Fehlerbehebung.

Anwendungen

  • Ätzsysteme für Halbleiterherstellung
  • Systeme für chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Epitaxialprozesssysteme
Gerätetyp

Mass Flow Controller

Unterscheidungsmerkmal

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 700 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normally Open Valve: <1.5 sec (specific models)

Multi-Gas & Range Configurability
MultiFlo™ Standard (most models)
Druckschwankungsabhängigkeit
Regelbereich

Standard GF Series: < 3-100%

High Flow GF Series: 5-100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

Schleichmengenunterdrückung

Standard GF Series: < 2% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad
4 - 10µ inch Ra
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Ventil

Normally Closed

Normally Open (specific models only)

Meter (no valve)

Kennwerte
Maximale Temperatur
50oC
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

*Typical pressure drops. Contact Brooks Technical Support for more information.

Maximaler Druck

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
Available

Statuslampen

MFC Health

Network Status

Alarm

Control Valve Output

Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS-485 via 2.5mm jack (all models)

Anzeigen

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

Elektrischer Anschluss

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

Spannungsversorgung

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

Beachtung
EMV

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

GF100 GF101 GF120 GF120XSL GF120XSL GF121
Unterscheidungsmerkmal

High Purity

High Purity

High Flow Rate

 

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

 

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

3 sccm - 55 slm >25 sccm - 1 slm 4 - 25 sccm

55 slm - 300 slm

Oberflächenbeschaffenheit 10µ inch Ra 10µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

700 ms

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<1 sec

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

Normally Open

Normally Open

Multi-Gas & Range Configurability MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
Druckschwankungsabhängigkeit
Diagnosefähigkeit

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet - GF100, GF120 pdf English Japanese
Data Sheet - GF101, GF121 pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF100 - AS - G1

Meter Series
Fitting
Connector
 GF1xx AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)
BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base
  CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
*DX - DeviceNet™ 5 pin micro
  VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male
EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
  WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal
GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
    G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
    SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte