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Produkte Druck und Vakuum Metallgedichtete SLA7840

Metallgedichtete Druckregler und Durchflussmesser der Serie SLA7840

Hochreiner Strömungsweg, hohe Stabilität und schnelle Ansprechzeit
Verfügbare Modelle SLA7840

Der metallgedichtete, hochreine Druckregler und Durchflussmesser SLA7840 bringt Ihre Durchflussmessung auf ein neues Level. Sie profitieren nicht nur von höchster Stabilität und Wiederholbarkeit, sondern auch von einer besonders schnellen Ansprechzeit.

Dank eines externen Druckaufnehmersignals, der integrierten PID-Regelelektronik und einem Coplanar-Regelventil wird Ihr gewünschter Solldruck zuverlässig aufrechterhalten. Das Coplanar-Ventil reduziert zudem die Empfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen und bietet Ihnen im Vergleich zu anderen metallgedichteten Reglern geringere Leckraten. So stabilisieren Sie Ihren Prozess und erzielen bessere Ergebnisse.

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Datenblatt SLA7840

Merkmale

  • Integrierter Druckaufnehmer
  • Ansprechzeit: <1 Sekunde
  • Breiter Durchflussmessbereich mit Endwertdurchflussraten von 3 sml/min bis 30. sl/min
  • Max. Druck von 35bar
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Maximale Oberflächenrauigkeit Ra 0,8 µm
  • Coplanar-Ventil bietet geringere Leckraten.
  • Mehrgas-/Mehrbereichfähigkeit ermöglicht die Speicherung und Vorprogrammierung von bis zu 10 Gaskalibrierungen und -bereichen auf einem einzelnen Gerät.
  • DeviceNet® und analoge Kommunikationsoptionen

Ihre Vorteile

  • Reduzierte Empfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen im Prozess
  • Medienberührter Strömungsweg aus Metall für absolut partikel-, feuchtigkeits- und verunreinigungsfreie Prozessbedingungen
  • Für Kalibrier- oder Testzwecke lässt sich das Gerät auch als Massendurchflussregler konfigurieren.
  • Geeignet für viele verschiedene Gase und Bereiche
  • Reduzierte Lagerhaltung
  • Weniger Teile erforderlich dank großem Regelbereich des Coplanar-Ventils
  • Kompakte, raumsparende Bauform erleichtert Umrüstungen
  • Digitale Kommunikation für unkomplizierte Inbetriebnahme und reduzierte Systemverdrahtung
{6B8500CD-E0B2-4484-98F8-020AA736B5D0}
Gerätetyp

Pressure Controller & Flow Meter

{FFC2FF86-9427-48CC-B0AA-845A1E620577}
Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

{05400E48-1E61-44D0-81A9-5779A3F49264}
Leistung
{A8A93341-B802-4FD3-89BF-4E81CE170784}
Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

{829C7976-BE50-4D03-A41D-937485EB3168}
Genauigkeit

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

{01247712-5A0A-4268-A2E8-768A1A8C8464}
Wiederholbarkeit

±0.2% of rate

{5160C967-F1BB-4895-B33C-7DD5622ACAA7}
Temperaturkoeffizient

Zero: Less than 0.035% FS per °C

Span: Less than 0.1% of Rate per °C

{815BCCB6-644A-4A79-9A02-2BD7DE5F8082}
Druckbereich
Dependent upon remote pressure transducer, maximum 500 psig.
{377403FA-2DC8-4786-B83D-0201EAC5624F}
Druckregelbereich

20:1

{22B38BD9-0F72-45C9-AED1-959AD203A470}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

{9B192206-E575-49BA-A597-67EAAE26D5D0}
Kennwerte


{46151B14-16A8-4C1B-B313-A321C14DFFEE}
Maximaler Druck
500 psig
{C43509B4-8508-4E0C-9AF9-9E9CEA9CFA36}

Operating: 0°C to 60°C

Non-Operating: -25°C to 100°C

Fluid: 0°C to 65°C

{FFF868D2-06D4-4E5F-8DE6-F28C7F86B81E}
Leckrate

Inboard to Outboard

1 x 10-10 atm scc/sec Helium max

{12E9D148-8616-41F2-913E-62A36D094732}
Mechanisch
{F338B6E3-71EA-441D-962D-F1878A11748A}
Dichtungsmaterial
Metal
{5952A75C-EBC4-4C93-81BA-6B450F0E58BF}
Reinheitsgrad

32 µ inch Ra

{27ECE8E7-DE03-4C64-9BD5-06F6CE4544B4}
Medienberührte Teile

316L Vacuum Arc Remelt (VAR)

316L

High-Alloy Ferritic Stainless Steel

External/Internal Seals: Nickel

Valve Seat: 316L Stainless Steel - standard

{EA904E18-B326-473C-8B1D-5DA15BB39636}
Ventil

Normally Closed

{08CE084D-960F-47F1-B8C8-3FE517D4AA95}
Elektrisch
{410BEBB1-2D76-4090-A114-945FCEC0CD0D}
Diagnosefähigkeit
Available

{1A02B62B-79F9-4E53-AD00-C1A4D7DB4A2B}
Analoge Kommunikation

0 - 5 Vdc

{088B442C-F11A-4F90-BD6F-FBFA9B7741E1}
Digitale Kommunikation
DeviceNet™
{2E622D01-A432-455D-BA8F-3DDFCA1774AC}
Elektrischer Anschluss

Analog via 15-Pin "D" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

{ABEF4842-7738-4789-8129-FB34656B6164}
Spannungsversorgung

Analog: +15 Vdc, ±5% (traditional -15 Vdc pin is ignored)

DeviceNet™: 11 - 25 Vdc

SLA7840
Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq. 
Druckregelbereich

20:1
Maximaler Druck

500 psig
Dichtungsmaterial

Metal
Elektrischer Anschluss

15-Pin "D" Connector

5-Pin "M12" Connector
Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Supplemental Manual - DeviceNet™ pdf English