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Elastomergedichteter Druckregler und Durchflussmesser 5866RT

Vielseitigkeit für Hochdruckanwendungen über einen breiten Durchflussmessbereich.
Modelle 5866RT
Das Brooks Modell 5866RT ist ein metall- oder elastomergedichteter Druckregler und Durchflussmesser zur Druckregelung und kombinierter Durchflussmessung. Das Modell 5866RT empfängt ein externes Druckaufnehmersignal und hält mittels einer eingebauten einstellbaren PID-Regelelektronik und eines Regelventils einen gewünschten Solldruck aufrecht. Mit Optionen für Dichtungen, elektropolierte medienberührte Flächen und einem breiten Druck- und Durchflussmessbereich liefert der 5866RT bewährte Ergebnisse für die unterschiedlichsten Prozesse.

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Datenblatt 5866RT

Merkmale

  • Integrierte Durchflussmesszelle
  • Ansprechzeit: <0,8 Sekunden
  • Breiter Durchflussmessbereich mit Endwertdurchflussraten von 3 sml/min bis 30.000 sml/min
  • Weitgespannte Endwertdruckbereiche (Max. Druck 100 bar)
  • Metalldichtung optional verfügbar
  • Elektropolierte medienberührte Flächen (Option)
  • Elektrisch aktivierte Ventilansteuerung
  • Für vor- oder nachgeschaltete Regelung geeignet
  • Analoge Schnittstelle

Vorteile

  • Beseitigt Regeldifferenz, Hysterese und Verstärkung
  • Hohe Dichtheit
  • Verbesserte Regelbarkeit von Druck und Durchfluss
  • Dynamische Optimierungseinstellungen mit obenliegenden DIP-Schaltern

Anwendungen

  • Dünnschichtprozesse
  • Chemische Forschung
  • Petrochemische Forschung
  • Labor
  • Brennstoffzellen
  • Biowissenschaft
Gerätetyp

Pressure Controller & Flow Meter

Unterscheidungsmerkmal

Remote Transducer

Pressure Control & Flow Measurement

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

Genauigkeit

Flow Accuracy:

 ±1% F.S. including linearity at the calibration conditions

±1.5% F.S. for flow rates greater than 20 slm

Wiederholbarkeit

±0.25% of rate

Temperaturkoeffizient

0.1% F.S. per °C

Druckbereich
Dependent upon remote pressure transducer
Druckregelbereich

100:1 for a remote transducer with a 0-10 V output

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Pressure Response Time:

< 0.8 sec typical for a 0-100% command step with <2% pressure overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

Kennwerte
Maximaler Druck
1500 psig
Temperaturbereich
0 - 65°C
Leckrate

Inboard to Outboard

Metal Seal: 1 x 10-10 atm cc/sec He max 

Elastomer Seal: 1 x 10-9 atm cc/sec He max

Mechanisch
Dichtungsmaterial
Elastomer or Metal
Medienberührte Teile

Wetted Parts: Standard 316L/316L VAR Stainless Steel

Valve Seat: Standard Viton® fluoroelastomers or metal

External/Internal Seals: flouroelastomers or metal

Optional: Buna-N, Teflon® or Kalrez®

Ventil

Normally Closed

Normally Open

No Valve (elastomer, upstream configuration only)

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-5 V

Digitale Kommunikation

Elektrischer Anschluss

15-Pin "D" Connector

Spannungsversorgung

Normally Closed: 3.5 watts; +15 Vdc (±5%) @ 35 mA, -15 Vdc (±5%) @ 180 mA

Normally Open: 10.5 watts; ±15 Vdc (±5%) @ 350 mA

Diagnosefähigkeit

Beachtung
Zertifikate und Zulassungen
EMV

EMC Directive 89/336/EEC EN 61326-1

Größe

Compact

5866RT
Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

Druckregelbereich

100:1 for a remote transducer with a 0-10 V output

Maximaler Druck

1500 psig

Dichtungsmaterial

Elastomer or Metal Seal

Elektrischer Anschluss

15-Pin "D" Connector

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English