Hochreine und ultrareine Gas-Massendurchflussregler für die Halbleiterindustrie

Für viele Prozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist es wichtig, dass Massendurchflussregler vielseitig und absolut zuverlässig sind. Ihre hohen Investitionen in die Prozessanlagen rechnen sich nur dann, wenn diese kontinuierlich und fehlerfrei in Betrieb sind.

Wenn dagegen die Drift die definierten Sollwerte überschreitet, steht die Produktion still. Erfordern neue Fertigungsprozesse mehrere Gase und verschiedene Massendurchflussregler, legt dies Ihren Prozess schnell für mehrere Tage lahm.

Die Lösung dafür sind MultiFlo®-fähige Massendurchflussregler der Serie GF. Die metallgedichteten Massendurchflussregler und -messgeräte führen genau und wiederholbar Prozessgase in ultrahoher Reinheitsstufe zu. Die Serie GF wurde dafür im Dauerbetrieb auf einem Zuverlässigkeits-Level getestet, das dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards entspricht. Ein vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg und der korrosionsbeständige Hastelloy®-Sensor garantieren Ihnen höchste Gasreinheit und feuchtefreien Durchfluss.

Dank modernster MultiFlo® Technologie unterstützen diese Massendurchflussregler unzählige Gasarten und -kombinationen. So erhöhen sie nicht nur Ihre Prozessflexibilität und -effizienz, sondern profitieren auch von höchster Reinheit und Produktivität