Stabile Druckregelung und höchste Prozessgasreinheit für beste Ergebnisse
Ob Zuverlässigkeit, Langlebigkeit oder Genauigkeit: Die metallgedichteten Druckregler von Brooks Instrument erfüllen all Ihre Erwartungen. Sie sind mit der Regeltechnologie unserer thermischen Massendurchflussregler ausgestattet und beseitigen so Regeldifferenz und Hysterese.
Mit metallgedichteten Druckreglern entfällt auch die Sauerstoffpermeation. Das führt zu einer verbesserten Gasreinheit. Weil Metalldichtungen unbegrenzt halten, reduziert sich außerdem Ihr Wartungsaufwand.
Die elektronischen Druckregler von Brooks Instrument können mit internen Druckaufnehmern für Druckregelungen im Bereich von 1,33 mBar bis 35 Bar ergänzt werden. Sie können die Druckregler so genau an Ihren Durchflussprozess anpassen und erhalten absolut zuverlässige Ergebnisse – Tag für Tag.
Für welche Anwendungen metallgedichtete Druckregler eingesetzt werden:
- Fertigungsprozesse für Siliziumhalbleitergeräte – Ätzen, Abtragen, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implantation und RTP
- Fertigungsprozesse für Halbleiterverbundgeräte – MOCVD
- Präzisionsgefertigte Oberflächenbeschichtungen
- Analysesysteme
- Vakuumprozessanwendungen
Wählen Sie das Druckregelgerät, das Ihre Projektanforderungen am besten erfüllt.