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高温热式质量流量控制器和仪表

可满足高温苛刻条件应用需求的高纯度流路

现今许多高级电子元器件的加工工艺都需要能够对昂贵的超纯气体和液态前体进行相当准确并且具有高度可重现性的测定和控制。因此,布鲁克斯仪器推出了自家的高温金属封装热质量流量控制器和仪表来满足上述需求。该产品将稳定性和准确性超高的测量传感器与快速、精准的控制阀以及功能强大的电子元件相结合共同实现了精准的化学品控制。高完整性(无泄漏)的超高纯度全金属流路可确保过程化学品纯度,该流路专为防止外部污染(如湿气和氧气)腐蚀过程媒介而设计。

关键应用

  • 光纤制造 - MCVD
  • 硅材料半导体器件加工工艺
    • CVD(蒸汽形式的前体输送)
    • 剥落(水蒸气)
    • 腐蚀(水蒸气钝化)

产品

5850EMH 系列
5850EMH 系列
9861 系列
9861 系列
产品类型 Mass Flow Controller Mass Flow Controller
区别

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

流量范围-满量程容量-液体
密封材料 Metal Metal
纯净等级 4 μ inch Ra
精度

1% of FS

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

重复性 <±0.25% SP <±0.15% FS
响应时间-常闭

<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

最大压力

1 MPa (145 psi)

620 kPa (90 psi)

最大温度范围
模拟通讯

0-5 Vdc

0-5 Vdc

数字通讯

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)