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VDM100 蒸汽输送模块

实现最高流量精度的超高纯度去离子水蒸汽控制
型号 VDM100

Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于输送超高纯度水蒸汽的高性能、自足式模块。它的特点是节能设计,能在低温环境下产生超高纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术,并结合了先进的数字控制和集成诊断功能,集成在一个小的便携包中。

VDM 专为先进带材和后金属刻蚀钝化工艺设计。相比闪蒸系统,它能提高精度,使流速更快,控制范围更广,功耗更小。基于成熟的热质量流量测量技术,VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气,从而降低去离子水的侵略性效果,提高了可靠性,改良了清洁操作。

它还通过一个独立的服务端口和直观的图形用户界面,提供人性化的数据记录和诊断功能。

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特点

  • 流速范围:3 slpm
  • 直接水汽测量具有超高的流量精度
  • 能直接连接到室内去离子水供应系统
  • 在较低温度下可操作(非过热状态)
  • 冲水和排水优化设计

优势

  • 采用了成熟可靠的热质量流量测量和控制技术
  • 适用不同供水压力
  • 耐腐蚀性能增强
  • 确保清洁操作

应用

  • 硅半导体后金属刻蚀工艺
  • 硅半导体金属带材工艺
  • 在低于大气压的环境中超高纯增湿
产品类型

DI Water Vapor Delivery Module

 

区别

High Purity Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

性能
蒸发方式
Vapor Draw
流体类型
DI Water
流量范围-满量程容量

3000 sccm

量程比
20:1
响应时间-常闭

<2 sec

精度

±1% SP @ 10-100% FS

±5% SP @ 5 - <10% FS

线性
±0.5% of FS
重复性
<±0.2% FS
温度系数
0.05% per °C zero and span
阀门关闭

Normally Closed Valve: <0.5% FS

电气
模拟通讯

0 - 5 Vdc

0 - 24 Vdc (with dongle)

数字通讯

RS485 via 2.5mm jack plug (diagnostic port)

电气连接

TBD

加热器功率
260 Watts
诊断和显示
状态灯

Zero

Fault

Ready

Warmup

诊断/服务端口

RS-485 via 2.5mm jack

机械
接头

Outlet Vapor: 13/8" Female VCR

Inlet DI Water: 1/4" Male VCR or tube compression

安装方向
Vertical with DIW inlet fittings down
等级
最大压力

Vapor Outlet: 200 torr

供给压力

DI Water: 10 - 40 psig

N2 Purge: 10 - 40 psig

环境温度范围
15 - 45°C
最大温度
~92°C
内部容积
0 to 95% RH, non-condensing
承诺
电磁兼容性
Fully CE compliant to EMC directive 89/336/EEC, EN 61326
符合环保要求
Compliant to EU directive 2002/95/EC
其他

SEMI F47-0706

SEMI S2-0703

SEMI S8-1103

SEMI S14-1103

ULG1010-1 (UL Listed)

VDM100
流量范围-满量程容量

3000 sccm

精度

±1% SP @ 10-100% FS

±5% SP @ 5 - <10% FS

重复性 <±0.2% FS
响应时间-常闭

<2 sec

模拟通讯

0-5 Vdc

0-24 Vdc (via dongle)

数字通讯

RS-485 via 2.5mm jack plug

 

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Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English