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SLA7840 金属密封压力控制器和流量计

高纯度流路,极高的可重现性、稳定性和响应速度
型号 SLA7840
布鲁克斯 SLA7840 型设备为高纯度金属密封仪器,可同时控制压力并测量流速。远程压力传感器信号辅以可调节积分 PID 控制元件和共面控制阀可将压力维持在目标值。相较于其他金属密封控制器,共面阀可降低压力变化产生的影响并降低泄漏速度,从而使设备在长时间使用的条件下更加稳定。

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特点

  • 一体化压力传感器
  • 响应时间:<1 秒
  • 流量测量范围宽,满量程流速测量范围可达 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm
  • 最大压力为 500 psig
  • 全金属密封流路:最高达 32µ 英寸的 Ra 表面处理
  • 共面阀可降低泄漏速度
  • 多气体/多量程功能可存储并与设定多达 10 种气体校准信息并且仅需一台设备即可实现
  • DeviceNet® 和模拟通信选件

优势

  • 共面阀控制范围的提升可降低过程压力变化所产生的影,响从而使设备在长时间使用时更加稳定。
  • 全金属接液流路可使工艺条件不受颗粒物、水汽和污染物影响
  • 设备还可配置为质量流量控制器以用于校准或测试
  • 多气体/多量程功能可减少库存
  • 共面阀可扩大控制范围从而减少过程控制所需部件数量
  • 封装结构紧凑,节省空间,容易改装
  • 数字通信便于调试,能减少系统布线
产品类型

Pressure Controller & Flow Meter

区别

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

性能
流量范围-满量程容量

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

精度

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

重复性

±0.2% of rate

温度系数

Zero: Less than 0.035% FS per °C

Span: Less than 0.1% of Rate per °C

压力范围
Dependent upon remote pressure transducer, maximum 500 psig.
压力控制范围

20:1

响应时间-常闭

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

等级


最大压力
500 psig
环境温度范围

Operating: 0°C to 60°C

Non-Operating: -25°C to 100°C

Fluid: 0°C to 65°C

漏率

Inboard to Outboard

1 x 10-10 atm scc/sec Helium max

机械
密封材料
Metal
纯净等级

32 µ inch Ra

接液材料

316L Vacuum Arc Remelt (VAR)

316L

High-Alloy Ferritic Stainless Steel

External/Internal Seals: Nickel

Valve Seat: 316L Stainless Steel - standard

阀门

Normally Closed

电气
诊断能力
Available

模拟通讯

0 - 5 Vdc

数字通讯
DeviceNet™
电气连接

Analog via 15-Pin "D" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

电源-功耗

Analog: +15 Vdc, ±5% (traditional -15 Vdc pin is ignored)

DeviceNet™: 11 - 25 Vdc

SLA7840
流量范围-满量程容量

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq. 

压力控制范围

20:1

最大压力

500 psig

密封材料

Metal

电气连接

15-Pin "D" Connector

5-Pin "M12" Connector

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Supplemental Manual - DeviceNet™ pdf English