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高纯和超高纯气体质量流量控制器与流量计

挑战:使工具工作时间和生产力最大化

质量流量控制器的可靠性和通用性对许多半导体加工工具很重要。当启动和使用这些过程工具时,他们只能赚得数百万美元投资的回报;如果质量流量控制器在重要设定点上缓慢移动,或者新的制造工艺需要多种气体(和多个质量流量控制器),那么,转换和/或再校准或修理会需要更长的停机时间。

解决方案:先进的 MultiFlo®-capable GF 系列质量流量控制器

精确、可重复地输送超高纯工艺气体 - 这就是 GF 系列金属密封质量流量控制器与流量计的性能所在。GF 系列已被连续测试七次,符合半导体行业标准,确保测量可靠性。全金属流道和耐腐蚀的 Hastelloy® 传感器能够确保气体保持最高纯度和干燥流动。独特的可编程 MultiFlo® 技术能够使一个质量流量控制器支持数千个气体类型和范围组合。

结果:提高了过程的灵活性和效率,并与同行业的最高纯工艺气体结合起来,有助于最大限度地提高产量和生产率。

产品

9861 系列
9861 系列
GF100 系列
GF100 系列
GF125 系列
GF125 系列
GF135 系列
GF135 系列
产品类型 Mass Flow Controller

Mass Flow Controller

Mass Flow Controller

Mass Flow Controller
区别

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

Real-Time Flow Error Detection

Advanced Diagnostics

密封材料 Metal Metal

Metal

Metal

纯净等级 4 μ inch Ra 4 - 10µ inch Ra 4 - 5µ inch Ra 4µ inch Ra
流量范围-满量程容量 10 slm (N2 equivalent)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

3 sccm - 300 slm

3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)

精度

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

±1% S.P. 10-100% F.S.

±1% S.P. plus ±0.04% F.S. 2-10% F.S.

最大压力

620 kPa (90 psi)

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Standard GF Series: 100 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

100 psia max

最大温度 150oC 50oC 50oC

50oC

模拟通讯

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

数字通讯

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

RS485