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半导体产品

绝对的精确和控制,全球最高要求的产业

精确和可重复的过程控制:这是半导体和电子制造业的根本驱动因素。由于每代工具、工艺和节点都具有连续性,已经开发出来并得以部署,所以半导体流量和压力计的极高和超高性能要求以及对不断创新和改进的需求,在现在乃至将来都不会停止。

Brooks Instrument 按这些要求提供本行业最先进的流量、压力、真空和蒸汽输送解决方案。我们的半导体产品组合包涵了我们创造众多突破性测量和控制设备的数十年经验,这些设备现已成为本行业各层次工艺设备的标准部件。

您选择 Brooks Instrument 半导体产品,即选择了我们的独到见解和资源,只有我们才能利用这些处理 FEOL 和 BEOL 的基本流程并迎接产量方面的挑战:

  • 专业:领先的半导体工具制造商期待 Brooks 员工用他们公认的专业技术和独到见解,对流量和压力的测量和控制技术精益求精,应对独特的工艺气体、设备腔体接合以及生产力方面的挑战。
  • 精确:Brooks 的仪器为客户提供最适用、特别应用级别的准确度、耐用度,最重要的是重复性,帮助客户管理飞涨的工具成本。我们一直不断投资改善我们的产品组合,所以我们的每台设备都有助于提高过程控制,最终转化为生产力和产量。
  • 可靠:Brooks 的半导体产品采用的是最优质的钢与合金、高性能数字电子技术和获得专利的传感器设计,能提供数十年的可重复性精确测量和控制,尤其是在与外来工艺气体相互作用时。
  • 焦点:Brooks 专注流量和压力的测量和控制,服务能力不断提升,业务遍及全球,能对仪器问题作出较快响应,并对其提供的半导体产品提供更好的生命周期支持。
  • 支持:我们支持并提供应用专业技术、定制计量配置、服务和产品选择帮助。