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GF80 Series Metal Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

금속 씰 분야의 가치를 주도하여 성능 표준을 향상하다.
다양한 산업 및 반도체 공정에서는 성능과 비용 효율성 모두가 매우 중요합니다. GF80 시리즈 금속 씰 질량 유량 제어기 및 유량계는 이 두 가지를 모두 제공합니다. Brooks Instrument의 베스트셀러인 GF100 시리즈와 같은 빠른 응답 센서를 갖추고 특허를 획득한 4 세대 MultiFlo™ 기술로 제작한 본 제품은 적절한 가격으로 높은 성능을 필요로 하는 운영을 위한 좋은 선택입니다. MultiFlo™ 의 Multi Gas/다중 범위 기능이 탑재된 금속 씰 MFC로 변경을 하게 된다면, 사용 할 수 있는 가스에 제한이 없고, 산소 투과 제거를 하여 가스의 순도를 향상시키는 탄성중합체와 수명 제한이 없는 금속 씰 사용을 통해 유지보수의 필요성을 줄이는 모든 혜택을 누릴 수 있습니다. 

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가격 정보:

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GF80 시리즈 데이터 시트

특징

  • 연간 ±0.5% F.S. 미만의 장기간 Zero 안정성
  • 안정 시간 1초 미만
  • >최대 300 slpm의 풀 스케일 유량
  • 전금속 씰 흐름 경로 - 16µ inch Ra 표면 마감
  • 내식성 Hastelloy® 센서는 열 분해에 취약한 가스를 위해 낮은 온도에서 작동 가능합니다.
  • 프로그래밍이 가능한 MultiFloTM 기능 - 가스 라인에서 MFC를 탈착하거나 정확도를 떨어뜨리지 않고 수천 가지 가스 유형과 범위 조합을 하나의 기기로 처리합니다
  • 능동적 온도 보상을 통한 동급 최고의 온도 계수 사양
  • 자체 테스트 루틴 및 독립 진단/서비스 포트 내장
  • VCR 피팅을 이용한 날씬한 본체
  • DeviceNet™, Profibus®, RS-485 및 아날로그 인터페이스

장점

  • 1초 미만의 빠른 유량 안정 시간으로 가스 낭비와 공정 변동성을 제거합니다
  • 산소가 투과로 인해 시간이 지나면 교체가 필요한 탄성중합체 씰이 없습니다
  • MultiFloTM는 공정 가스 교체를 쉽고 간소하게 만듭니다 - 더 이상 MFC를 분리하고 보정할 필요가 없습니다
  • 새로운 가스 및/또는 범위를 60초 내에 설정할 수 있습니다
  • 온도 변동의 영향을 받지 않는 측정 정확성
  • 가동 시간 극대화를 위한 편리한 진단 포트 접근
  • 컴팩트한 사이즈로 좁은 장치 공간에 쉽게 통합할 수 있습니다. (개보수를 위한 뛰어난 선택)
  • 다중 프로토콜 통신 인터페이스로 기존 시스템 통합을 간소화합니다

응용

  • 리퍼비쉬 반도체 공정 도구에서 레거시 MFC의 비용 효율적인 개보수/업그레이드
  • 6 인치/8 인치 반도체 팹의 MFC 재고 감소
  • LED 및 전력 기기 제조를 위한 MOCVD
  • 태양광/박막 화학 기상 증착(CVD) 시스템
  • 분석 OEM 장비

{D432A024-FD6D-4D0D-8432-19B05A1CCA13}
상품 유형
질량 유량 제어기 
{2C550224-B97F-4DE4-B757-EF5484427245}
특장점
고순도
{110069DA-4E2B-4345-B267-9E451F782B73}
성능
{848E0FCF-F6B5-45DA-88CC-6862AE45D45F}
유량 범위(최대 용량)
3 sccm ~ 55 slm 
{D553B057-B95A-4BA8-9193-1273F30CE5A7}
정확도
±1% S.P. 35~100% 

±0.35% F.S. < 5~35% 
{6C1BC7DF-C09C-486E-960C-5D599253FB34}
반복성 및 재현성
< ±0.2% S.P.
{4ABE7CC0-99EB-4217-A4F9-64CF32C74B2F}
선형성
±0.5% F.S. (정확도에 포함) 
{9DB4CDB8-E5AB-4ACB-8BC1-5E4315E62FC8}
응답 시간
<1 초
{9CF02FC0-2204-4093-88FA-52EBBDC7D623}
다중 가스 및 범위 구성
MultiFlo™ 이용 가능 
{0FA4C489-9A52-4D5B-B79A-E149517231C9}
압력 과도 무감응성
{60D5A322-228A-4D87-B2C5-475F76D32510}
제어 범위
< 5% ~ 100% 
{F4356269-ACF9-40D4-BBA7-B2E226BA6D85}
Bin 개수
표준 GF 시리즈: 11 개 
 
고 유량 GF 시리즈: 4 개 
{6E6C1666-A619-43CE-B88A-21ECF842967B}
밸브 차단
표준 GF 시리즈: < 1% F.S. 

고 유량 GF 시리즈: 표준 구성 F.S.의 4% 미만 @ 30psig/atm out N2 상응 
{A1267C6A-DE3B-4D99-AB81-A8C4C4359AC0}
제로 안정성
연간 ±0.5% F.S. 미만 
{235F1B79-9C09-4AD7-933A-5B843BCA46B2}
기계적
{5F8EF69E-B337-4B75-8382-2EECDB3CA850}
씰 재료
금속 
{CB49665F-45EB-4001-82D9-24B3458FE4B9}
표면 마감 (Surface Finish)
16µ inch Ra 
{5E760402-0FC0-4473-B186-A2CCF304A696}
습윤 재료
316 스테인리스강 

Hastelloy C-22 

17-7 PH 

430SS 

KM-45 
{470140BD-78B7-4A06-9B68-51132A02390A}
밸브
Normally Closed 

유량계(밸브 없음) 
{919D73CA-704D-4514-BCCE-E50118E270B7}
등급
{0B26914D-1709-4EAB-BAAD-91454FD8A3E6}
최고 온도
50oC
{43955F46-2780-4EF9-B145-8D3A2031409E}
차압 범위

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(일반 압력 강하)

{FD782E82-4D8E-4AAC-ADBA-1A58FE7B6E01}
최대 압력

표준 GF 시리즈: 150 psig (10 bar)

고 유량 GF 시리즈: 유량계 = 75 psig (5 bar), 제어기 = 150 psig (10 bar)

{886AE7FF-B3BE-47C5-9962-81D5B4635CA1}
누출 무결성
1x10-10 atm cc/sec He 
{4ABD037A-F4A5-4EEA-9219-7054E013756F}
진단 및 디스플레이
{121E5169-A858-436C-8DFA-A93D50333F66}
진단 능력
이용 가능 
{1966DF4C-7899-43C1-B47B-0D1443DEF920}
상태 표시등
MFC 상태, 네트워크 상태 
{C236791C-5D40-451A-8332-37F5BA6B3E6E}
알람
제어 밸브 출력 신호, 네트워크 중단 
{4052899F-02FF-442F-8AF6-ADA42B2EEF9B}
독립 진단 서비스 포트
2.5mm 잭을 통한 RS485(모든 모델)  
{3FC1A843-1F8D-486C-95D5-28BC775C2157}
전기
{A6BF0885-99D5-4124-9666-990B6364074E}
아날로그 통신
0~20 mA 
4~20 mA 
0~5 Vdc 
0~10 Vdc 
{E602561E-72AC-4165-A244-E0DBFE3D5C3D}
디지털 통신
DeviceNet™  
Profibus® 
RS485 S-프로토콜 
RS485 L-프로토콜 
{D31228BC-D47E-41C3-A90C-0B9804D06221}
전기 연결
9-핀 "D" 커넥터를 통한 Profibus/아날로그 

9-핀 "D" 커넥터, 15-핀 "D" 커넥터를 통한 RS485/아날로그 

5-핀 "M12" 커넥터를 통한 DeviceNet™  
{931D6DC4-DF29-4BEC-AA66-1B27BF9836BD}
전원 공급/소비
표준 GF 시리즈:   
RS485 +12 Vdc에서 +24 Vdc까지 = 최대 7 Watts 
Profibus +13.5 Vdc에서 +27 Vdc까지 = 최대 7 Watts 
DeviceNet™ +11 Vdc에서 +25 Vdc까지 = 최대 13.6 Watts 

고 유량 GF 시리즈:
RS485 +12 Vdc에서 +24 Vdc까지 = 최대 3.3 Watts 
Profibus +13.5 Vdc에서 +27 Vdc까지 = 최대 3.3 Watts 
DeviceNet™ +11 Vdc에서 +25 Vdc까지 = 최대 3.3 Watts 
{5A9ACE4D-CF92-4B8C-A128-2331B6DA4BE6}
규정 준수
{8D98D6AF-A0E4-4137-83E9-1B71CC1C283E}
EMC
CE: EN6126: 2006(FCC Part 15 및 캐나다 CE 테스트의 IC-서브셋) 
{9BABA9A5-4BE9-4EE6-AAD6-8F0E1661B294}
환경 규정 준수
안전성 EN61010-1 

RoHS 
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40/GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual pdf English

CAD 파일 이름 예시: GF080 - VX (장착) - S4 (통신 / 커넥터)

미터 시리즈
  장착
  통신 / 커넥터
GF080
  VX - 1/4” VCR
  S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks® Protocol)

 



0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급
0260 시리즈
최대 30개의 장치를 제어 및 모니터링하고 최대 10개의 장치에 전원을 공급합니다.
MultiFlo™ Configurator
MultiFlo™ 가능 MFC를 가스 라인에서 제거하지 않고도 수천 가지 가스 유형 및 범위에 대해 구성할 수 있는 포괄적인 가스 데이터베이스입니다.
Smart DDE Software
Dynamic Data Exchange 소프트웨어를 사용하면 Windows® 기반 응용 프로그램과 Brooks Instrument RS485 S-Protocol 장치 간에 양방향 링크를 만들 수 있습니다.