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The Fastest and Most Accurate MFCs

EtherCAT®을 통한 속도 향상

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EtherCAT® GF100 시리즈 데이터 시트

반도체 공정을 위한 완벽한 성능

  • 임베디드 진단은 실시간 EtherCAT® 데이터 수집이 가능합니다.
  • 매우 안정적인 유량 센서(≤ 0.15%S.P. drift per year)를 통해 더 엄격하게 낮은 유량에서의 정확도를 실현하고 유지보수 필요성을 줄입니다.
  • 밸브 차단 개선(≤ 0.15% of bin range)을 통해 밸브 Leak를 줄여 First Wafer Effects를 줄입니다.
  • 새롭게 강화된 압력 과도 무감응성으로 일정한 질량 흐름 전달을 위해 상호 간섭 민감도를 줄입니다.

특징

  • 연간 ±0.15%F.S. 미만의 장기간 Zero 안정성
  • >Settling times : 300 ms ~ <1 초
  • 최대 300 slpm의 F.S 유량
  • 모든 금속 씰 흐름 경로: 5µ 또는 10µ inch Ra 표면 마감 옵션
  • 내식성 Hastelloy® T-Rise 센서를 통해 고온에서의 측정 재현성을 향상
  • MultiFloTM 가스 및 범위 프로그래밍 - 가스 라인에서 MFC를 제거하거나 정확도에 영향 없이 수 천 가지 가스 유형과 범위 조합을 하나의 기기로 처리 가능
  • 편리한 사용자 디스플레이 및 독립 진단/서비스 포트가 장치의 설치, 모니터링, 문제 해결을 지원
  • GF120 안전 전달 시스템(SDS® : Safe Delivery System)은 Implant 와 Etch 공정에 이용되는 보조 기압 안전 전달 시스템(SDS : Sub atmospheric safe Delivery System)을 위한 Brooks의 최신 저압 강하 질량 유량 제어기입니다

장점

  • 뛰어난 성능
    • 빠른 응답 시간으로 적용 효율성을 높입니다
  • 유연한 토폴로지
    • 실질적으로 제한이 없는 네트워크 토폴로지 가능
  • 단순함과 견고함
    • 구성, 진단 및 유지보수
  • 적정 가격
    • 표준 Ethernet Port
  • 응용

    • 반도체 Etch 도구
    • 박막 화학 기상 증착 시스템(CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
    • 물리적 기상 증착(PVD) 시스템
    • 에피텍셜 프로세스 시스템
{DEBCCA8D-7434-4BA7-B54F-92D4EDC04A75}
상품 유형
질량 유량 제어기 
{8B89F14C-B912-4424-BCC5-AA95C46D59C6}
특장점
EtherCAT 통신 
 
고순도/초고순도 
 
임베디드 진단 
 
매우 안정적인 유량 센서 
 
개선된 밸브 차단 
{FFBE3C7F-0139-4CBE-AF94-74D8A0B30009}
성능
{98B3C086-0985-4066-807F-25A2E7C53EEB}
유량 범위(최대 용량)
표준 GF 시리즈: 3 sccm ~ 55 slm 
 
고 유량 GF 시리즈: 55 slm ~ 300 slm 
{057BC068-8AB8-4BD6-A8B3-CD29145D4DF9}
정확도
표준 GF 시리즈: ±1% S.P. > 20~100%; ±0.2% F.S. 2~20% 
 
고 유량 GF 시리즈: ±1% S.P. > 35~100%; ±0.35% F.S. 2~35% 
{5B41E208-F4F0-4FC0-9111-CD17A8732770}
반복성 및 재현성
< ±0.15% S.P. 
{DD758BDD-DC5E-4D81-B070-C51FEA9BEA18}
응답 시간
Normally Closed Valve: 300 ms ~ < 1 초 
 
SDS 가스 전달: < 3 초 
{2F1BACB2-A180-49D2-B83D-EF895EA85224}
응답 시간
Normally Opened Valve: <1.5 초(특정 모델) 
{D301F211-A735-4E4E-B229-495A16152C83}
압력 과도 무감응성
특정 모델 
{B0847CB2-612D-47B5-AF00-D9D3CB8DAD32}
다중 가스 및 범위 구성
MultiFlo™ 표준(대다수의 모델) 
{1374FB78-7FB7-4CFF-A118-5F0CAD7B25A1}
제어 범위
표준 GF 시리즈: 2~100% 
 
고 유량 GF 시리즈: 5~100% 
{0C2AFBD5-F1CD-48C0-8FC4-5216C27FF550}
Bin 개수
표준 GF 시리즈: 11 개 
 
고 유량 GF 시리즈: 4 개 
{C7BE52FB-B8E6-44DC-BEFB-DCF0FBE99991}
밸브 차단
표준 GF 시리즈: < 0.15% F.S. 
 
고 유량 GF 시리즈: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out 
{3F92A104-D508-4775-8D9D-7E7DCE62EDD9}
제로 안정성
< ±0.15% F.S. per year 
{60452C9A-BF36-444D-93A6-CCEE2F21D1C1}
유량 온도 계수
Span : °C당 0.05% S.P. 
 
Zero : °C당 0.005% F.S.  
{BCC7C7BB-C17C-4AA7-9ADD-61780C3EE5F4}
기계적
{0958A6A9-71D6-4F26-9137-91EDC4625EA5}
씰 재료
금속 
{03131EF2-B3E3-48A2-99D2-FA45A35FF3E3}
표면 마감 (Surface Finish)
5 ~ 10µ inch Ra 
{87A68973-BB8F-487E-855A-69FEA4FFFF66}
습윤 재료
SEMI F20 HP/UHP 준수 
 
316L VIM/VAR 
 
Hastelloy C-22 
 
316L 스테인리스강 
 
304 스테인리스강 
 
KM-45 
{8FC7632B-8368-41BD-826E-B464E8A5E0BC}
밸브
Normally Closed 
 
Normally Open (특정 모델만) 
 
유량계(밸브 없음) 
{94F70132-F545-4627-9AE6-23B21068029A}
등급
{8B312DB0-CCA6-4685-AF36-F91260857AE9}
최고 온도
50oC 
{80BBEAF4-4D4F-49A0-8C75-7199B4A700A8}
차압 범위
3~860 sccm = 7~45 psid 
 
861-7200 sccm = 10-45 psid 
 
7201~55000 sccm = 15~45 psid 
 
51 slm~300 slm = 30~90 psid 
 
SDS 모델 10 Torr- 30 psid 일반 
 
*일반적인 압력 강하. 자세한 정보는 Brooks 기술지원 부서에 문의해주십시오. 
{7A261F9D-32B9-4A05-B2FC-96981C6ED085}
최대 압력
표준 GF 시리즈: 최대 500 psia 
 
고 유량 GF 시리즈: 75 psig(컨트롤러), 150 psig(유량계) 
{6E5FC165-C3A0-43F7-A3A6-65541C20BA4D}
누출 무결성
1x10-10 atm cc/sec He 
{FD0F3EAE-7739-4E0D-AEAB-34FA7068CA98}
진단 및 디스플레이
{4C717972-2B93-453A-AE05-A480456E8950}
진단 능력
이용 가능 
{1EDA9026-203E-4B26-86C4-3BE44F6E9364}
상태 표시등
실행 
 
오류 
 
전원 
 
네트워크 상태 
{AFFD95BD-CF8E-4D68-B535-F99D31B78954}
알람
제어 밸브 출력 신호 
 
네트워크 중단 
 
온도 높음/낮음 
 
압력 높음/낮음 
 
전원 서지/새그 
{E866E098-05A5-4290-94ED-9267E9BC1068}
독립 진단 서비스 포트
Micro USB
{0B05CA40-E0DB-4DFF-915C-FC9D400DDBDF}
디스플레이
상단 장착 통합 LCD 
 
시야각: 고정 
 
가시 거리: 10 피트 
 
표시 단위: 유량(%), 온도(°C), 압력(psia, kPa) 
 
해상도: 0.1(단위) 
{2968243A-89B4-47FA-95CF-5CC6A110956B}
전기
{26790E4F-2742-4CEB-BCAD-961628E74B1C}
아날로그 통신

{8DF0F740-166B-4660-B620-D7997FA6AACE}
디지털 통신
EtherCAT® 
{53E88974-5783-4CA5-98F3-B802CD91CC8F}
전기 연결
5-pin M8 커넥터를 통한 전력 공급, 트윈 RJ45를 통한 EtherCAT 
{AEE200ED-68A0-43B5-B9DC-BD8F1863CA4F}
전원 공급/소비
24 Vdc, 7 Watts 
 
(일반 운영 조건 시) 
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Flyer pdf English
Data Sheet GF100 EtherCAT pdf English
Data Sheet GF120xHT pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English

CAD 파일 이름 예시: GF125 -WX (장착) - E0 (커넥터)

미터 시리즈
  장착   커넥터
 GF1xx   WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal
  E0 - EtherCAT® via twin RJ45, Power via 5-pin M8 connector



0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급
MultiFlo™ Configurator
MultiFlo™ 가능 MFC를 가스 라인에서 제거하지 않고도 수천 가지 가스 유형 및 범위에 대해 구성할 수 있는 포괄적인 가스 데이터베이스입니다.