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Geschweißter DLI Verdampfer

Flexible, indirekte bedarfsweise Verdampfung höchster Reinheit.
Modelle DLIWV / DLIWS / DLIWM / DLIWL

Die verschweißten Verdampfer der Serie DLI von Brooks Instrument nutzen eine vollständige Schweißkonstruktion aus Edelstahl 316L für hochstabile Geräte mit einem Dampfströmungsweg vollständig aus Edelstahl. Vier verschiedene Modelle unterschiedlicher Länge und Heizelementleistung stehen zu Erfüllung spezifischer Durchflussanforderungen zur Verfügung.

Unsere hochentwickelte Verdampferlösung mit Flüssigmediumdirekteinspritzung weist eine einzigartige Vernebelungs- und Wärmeaustauschertechnologie für die Erzeugung und Bereitstellung von chemisch reinem Dampf auf, frei von sich abspaltenden Nebenprodukten oder Verschleppung des Flüssigmediums. Der Brooks DLI Verdampfer ist ein nahezu ideales System für bedarfsweisen Dampf, weil sich beim Erhöhen, Vermindern oder Stoppen des inkompressiblen Flüssigmediumdurchflusses eine unmittelbare gewünschte Veränderung des Dampfdurchflusses ergibt.

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Merkmale

  • Hochleistungs-Wärmeaustauscher mit hohem Durchfluss DN 80, DN 125, DN 150, DN 275
  • Heizelemente: 200-5000 W 
  • Hervorragend für Flüssigmedien mit hohem Durchfluss und hohem Dampfdruck (MTS, TiCl4, Lösungsmittel usw.) 
  • Hohe Reinheit und Wiederholbarkeit
  • Vollständige Schweißkonstruktion aus Edelstahl 316L mit optionalen Kalrez®- oder Metalldichtungen
  • Extrem schnelles Ansprechen im Vergleich mit anderen Verdampfertechnologien

Vorteile

  • Heißgas bewerkstelligt die vollständige Verdampfung 
  • Vermeidet thermische Zersetzung 
  • Vermeidet Verschleppung des Flüssigmediums: Eingangsmasse = Ausgangsmasse bedeutet keine Ablagerungen und keine routinemäßigen Wartungsarbeiten.
  • Chemisch reiner Dampf
  • Mit mehreren Flüssigmediumeinlässen für die Flüssigkeitsverdampfung mit unterschiedlichen Dampfdrücken geeignet.

Anwendungen

  • Wasserverdampfung für die Befeuchtung von Brennstoffzellenstapeln
  • Verdampfung des flüssigen Vorprodukts für die Gasphasenabscheidung (CVD), Metalloxid-Gasphasenabscheidung (MOCVD) und Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Ausfällung dünner Schichten für verbesserte thermische, optische oder Härteeigenschaften wie diamantähnliche Kohlenstoff- und Glasbeschichtungen
  • Monomerverdampfung für Polymerschichtverteilung in Vakuum
  • Herstellung von Kalibrierdampf
  • Verdampfung flüssiger Kohlenwasserstoffe 
  • Halbleiterdünnschichten 

Gerätetyp
Vaporizer
Unterscheidungsmerkmal

Flexible, high purity, indirect vaporization-on-demand for most liquid precursors

Leistung
Verdampfungsmethode
Direct liquid injection with atomization
Art des Mediums
Water, hydrocarbons, polymers, metal organics and metal halides
Dampfbereich
Genauigkeit

Dependent on liquid flow controller

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Dependent on liquid flow controller

Kennwerte
Heizleistung
200 - 5000 W
Maximaler Druck

875 psig (standard)

1450 psig (w/ radiography option)

Maximale Temperatur

Viton seal: 200°C

Kalrez seal: 300°C

Leckrate
1 x 10-9 cc/sec (helium)
Differenzdruckbereich
(1.2 x Outlet Pressure) + 10 psi
Mechanisch
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Dichtungsmaterial

Viton® fluoroelastomer or 

Kalrez® perfluoroelastomer

Verschraubung

Carrier Gas Inlet: 1/4” or 1/2” tube compression or male VCR

Liquid Inlet: 1/8” or 1/4” tube compression or male VCR

Vapor Outlet: 1/4” or 1/2” male VCR or tube stub

Anschlüsse
Universal female panel jack (for thermocouples)
Preis
$$$$
DLIWV DLIWS DLIWM DLIWL
Länge des Wärmetauschers

3"

 

5"

 

8"

 

11"

 

Heizleistung 200 - 1000 Watts 200 - 1000 Watts 400 - 2000 Watts 800 - 5000 Watts
Art des Mediums DI Water, metal halides & metal organics DI Water, metal halides, & metal organics DI Water, metal halides & metal organics DI Water, metal halides & metal organics
Gase C2H3N, C3H4O2, C3H6O, C10H16
Maximaler Druck

875 psig (standard)

1450 psig (w/ radiography option)

875 psig (standard)

1450 psig (w/ radiography option)

875 psig (standard)

1450 psig (w/ radiography option)

875 psig (standard)

1450 psig (w/ radiography option)

Maximale Temperatur

Viton seals: 200° C

Kalrez seals: 300° C

Viton seals: 200° C

Kalrez seals: 300° C

Viton seals: 200° C

Kalrez seals: 300° C

Viton seals: 200° C

Kalrez seals: 300° C

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Serie 0254

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte