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DLI Verdampfer hoher Kapazität

Vollständige bedarfsweise Verdampfung mit hohen Wasserdampfdurchflussraten.
Modelle DLIHVN / DLIHVP / DLIHW / DLIHVY

Der Industrie stand lange Zeit keine hochwertige Lösung für die Verdampfungstechnologie zur Verfügung, bis Brooks Instrument seine 2. Generation der DLI Wärmetauschertechnologie einführte, die Serie DLI HV (DLIHV, DLI High Capacity Vaporizer, „Hohe Kapazität“). Das DLIHV-System bietet der Branche einen Verdampfer mit einer der höchsten Durchsatzraten. Das 6000-W-Modell liefert fortwährend und zuverlässig Wasserdampfmassedurchflussraten bis zu ~5 kg/h (83 g/min). Die Konstruktion des Verdampfersystems bietet ein günstigeres Flüssig-Gas-Verhältnis, sodass sich die Trägergasdurchflussrate für das Vorprodukt reduziert.

Unser proprietäres Zerstäuber erreicht eine exponentielle Vervielfältigung der spezifischen Oberfläche eines Eintrittsmediums, indem es Millionen Tröpfchen im Mikrometerbereich erzeugt, und zwar durch Auslösung einer Ultraschallwellenfront durch die schnelle Ausdehnung eines Trägergases durch eine Blende. Die vergrößerte Medienoberfläche verbessert die Effizienz der Wärmeübertragung. Das Vernebelungsgerät aus Edelstahl 316L mit abnehmbarer Blende ist ein für die gewünschten Medium und Massedurchfluss dimensioniertes, voll servicefähiges und austauschbares Bauteil. 

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Rufen Sie an unter: +49 351 215 20410

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Merkmale

  • Wasserdampfmassedurchflussraten bis zu ~5 kg/h (83 g/min)
  • Wärmetauscherrohrschlangen und äußere Heizelementummantelung aus Aluminiumguss bieten eine optimale Effizienz der Wärmeübertragung 
  • Medienberührte Teile aus Edelstahl 316L (optional elektropoliert, passiviert oder Titan)
  • Das Vernebelungsgerät erzeugt superfeine Aerosoltröpfchen (Durchmesser <0,25 µm)
  • Optionale Ausführung ohne Vernebelungsgerät für einfach verdampfende Flüssigmedien
  • Durch Massedurchflussregler für das Eintrittsflüssigmedium geregelte Flüssigvorproduktdurchflussrate
  • Mehrere konfigurierbare Verdampfermodelle

Vorteile

Aluminiumummantelung bietet:
  • Homogene und stabile Temperaturverteilung
  • Vermindertes Risiko einer thermischen Zersetzung des Flüssigmediums
  • Keine Verschleppung des Flüssigmediums in die Prozesskammer
  • Verlängerte Wärmeaustauscherlebensdauer
  • Werkstoff 316L ist korrosionsbeständig und stellt die Prozessreinheit sicher.
  • Das Vernebelungsgerät vergrößert die Oberfläche und verbessert die Wärmeübertragung, sodass bei niedrigeren Temperaturen eine vollständige Verdampfung erfolgt.
  • Ausführung ohne Vernebelungsgerät reduziert die Systemkosten 
  • Massedurchflussregler für Eintrittsflüssigmedien bietet schnelles Ansprechen auf veränderte Dampfsollwerte und damit bedarfsweisen Dampf. 
  • Mehrere Verdampferkonfigurationen passen sich einem weitgespannten Flüssigkeitseigenschaftenbereich an 
  • Modulares Design ermöglicht unkomplizierte Modifikationen von Anwendung zu Anwendung. 

Anwendungen

  • Funktionsbeschichtungen (z. B. TiN, SiC)
  • Für Halbleiter-, LWL- und industrielle Beschichtungen verwendete Systeme der chemischen Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, ALD)

Gerätetyp

Vaporizer

 

Unterscheidungsmerkmal

Integrated design for high vapor capacity requirements, especially DI water

Leistung
Verdampfungsmethode
Flash vaporization with/without atomization
Art des Mediums
Water
Durchflussbereich (Maximalwert)

1500 W Models: 15 gm/hr (water equivalent)

3000 W Model: 30 gm/hr (water equivalent)

6000 W Model: 83 gm/hr (water equivalent)

Genauigkeit

Dependent on inlet liquid flow controller

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Dependent on liquid flow controller

Kennwerte
Heizleistung
1500 W, 3000 W, 6000 W
Maximaler Druck
1500 psig
Maximale Temperatur

1500 & 3000 W: 150°C

6000 W: 200°C

Leckrate
1 x 10-9 cc/sec helium
Differenzdruckbereich
(1.2 x Outlet Pressure) + 10 psi
Mechanisch
Medienberührte Teile

Standard: 316L stainless steel

Optional: Titanium

Dichtungsmaterial

Viton® fluoroelastomer or 

Kalrez® perfluoroelastomer

Gehäuse

Enclosure: Painted aluminum

Base Plate: Aluminum

Anschlüsse
Universal female panel jack (for thermocouples)
Verschraubung

Carrier Gas Inlet: 1/4” or 1/2” tube compression or male VCR

Liquid Inlet: 1/8” or 1/4” tube compression or male VCR

Vapor Outlet: 1/4” or 1/2” male VCR or tube stub

Preis
$$$
Elektrisch
Benötigte Spannungsversorgung

120 or 240 Vac

Beachtung
Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

DLIHVN DLIHVP DLIHW DLIHVY
Unterscheidungsmerkmal Vapor Flow Capacity

 

Vapor Flow Capacity

 

Vapor Flow Capacity

 

Vapor Flow Capacity

 

Art des Mediums DI Water (primarily) & other precursors DI Water (primarily) & other precursors DI Water (primarily) & other precursors DI Water (primarily) & other precursors
Heizleistung 1500 Watts 1500 Watts 3000 Watts 6000 Watts
Dampfbereich 15 gm/min (water vapor) 15 gm/min (water vapor) 30 gm/min (water vapor) 83 gm/min (water vapor)
Maximale Temperatur 150° C 150° C 150° C 200° C
Benötigte Spannungsversorgung

Heater

120 Vac

Heater

240 Vac

Heater

240 Vac

Heater

240 Vac

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Serie 0254

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte