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DLI Verdampfer mit Flanschanschluss

Entwickelt für fragile flüssige Medien und ideal für Forschung und Entwicklung.
Modelle DLIFS

Sein modularer (geflanschter) Aufbau ermöglicht dem Benutzer die selbstständige Durchführung von Wartung und Reinigung. Ebenso ermöglicht der Verdampfer mit direkter Flüssigkeitseinspritzung von Brooks (DLIFS, direct liquid inject flange) die bedarfsweise Verdampfung der meisten flüssigen Vorprodukte. 

Das Starten und Stoppen konventioneller Verdampfer gestaltet sich schwierig und oftmals ist es sehr herausfordernd, die aktuell von einem konventionellen Verdampfer gelieferte Dampfmasse präzise zu ermitteln. Unsere DLI Verdampfer mit Flanschanschluss überwinden diese Probleme, indem sie die Flüssigmediumverdampfung unter Verwendung eines Heißgases statt einer heißen Metalloberfläche bewerkstelligen. Das Ergebnis ist ein chemisch reiner Dampf, frei von sich abspaltenden Nebenprodukten oder Verschleppung des Flüssigmediums. 

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Rufen Sie an unter: +49 351 215 20410

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Merkmale

  • Geringer bis mittlerer Durchfluss, geringer Dampfdruck 
  • Heizelemente: 200-2500 W 
  • Entwickelt für fragile flüssige Medien 
  • Mit Perfluorelastomer- oder Metalldichtungen aneinander befestigte Module aus Edelstahl 316L
  • Vom Anwender für Reinigung und Wartung demontierbar
  • Inbetriebnahmeservice von Brooks 

Vorteile

  • Hochreiner Dampf 
  • Entfall der Verschleppung des Flüssigmediums
  • Dampf ist frei von Nebenprodukten
  • Weitgespannter Bereich der Flüssigmediumeigenschaften 
  • Erzeugt perfekt vermischte Dämpfe
  • Unkompliziertes Zerlegen

Anwendungen

  • Forschung und Entwicklung 
  • Wasserverdampfung für die Befeuchtung von Brennstoffzellenstapeln
  • Verdampfung des flüssigen Vorprodukts für die Gasphasenabscheidung (CVD), Metalloxid-Gasphasenabscheidung (MOCVD) und Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Ausfällung dünner Schichten für verbesserte thermische, optische oder Härteeigenschaften wie diamantähnliche Kohlenstoff- und Glasbeschichtungen
  • Monomerverdampfung für Polymerschichtverteilung in Vakuum
  • Herstellung von Kalibrierdampf
  • Verdampfung flüssiger Kohlenwasserstoffe 
  • Halbleiterdünnschichten 
Gerätetyp
Vaporizer
Unterscheidungsmerkmal

Indirect vaporization-on-demand

High Purity 316L SS construction enables disassembly and cleaning

Leistung
Verdampfungsmethode
Direct liquid injection with atomization
Art des Mediums
Water, hydrocarbons, polymers, metal organics and metal halides
Dampfbereich
Genauigkeit

Dependent on liquid flow controller

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Dependent on liquid flow controller

 

Kennwerte
Heizleistung
200 - 2250 W
Maximaler Druck
1500 psig
Maximale Temperatur

Viton seal: 200°C

Kalrez or metal seal: 300°C

Leckrate
1 x 10-9 cc/sec (helium)
Differenzdruckbereich
(1.2 x Outlet Pressure) + 10 psi
Mechanisch
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Dichtungsmaterial

Viton® fluoroelastomer,  

Kalrez® perfluoroelastomer

or Nickel

Verschraubung

Carrier Gas Inlet: 1/4” or 1/2” tube compression or male VCR

Liquid Inlet: 1/8” or 1/4” tube compression or male VCR

Vapor Outlet: 1/4” or 1/2” male VCR or tube stub

Anschlüsse
Universal female panel jack (for thermocouples)
Preis

$$$$$

DLIFS
Unterscheidungsmerkmal

Compact

Ability to disassemble & clean

 

Heizleistung 200 - 2250 Watts
Art des Mediums

DI Water, metal halides & metal organics

Maximaler Druck 1500 psig
Maximale Temperatur

Viton seals: 200° C

Kalrez or Metal seals: 300° C

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Serie 0254

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte