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Verdampfer mit Flüssigmediumdirekteinspritzung (DLI - Direct Liquid Injection)

Die Einschränkungen konventioneller Verdampfersystemeüberwinden.
Konventionelle Verdampfersysteme erfordern eine enge Temperatur- und Druckkontrolle, sind nicht in der Lage, einen gutgeregelten Dampfmassendurchfluss effizient zu produzieren und sehen sich bei der Herstellung von hochreinem Dampf für beliebige Anwendungen Schwierigkeiten gegenüber.

Brooks Instrument hat die Lösung für diese Herausforderungen: Die hochentwickelte Technologie der Flüssigmediumdirekteinspritzung (DLI, Direct Liquid Injection). Brooks DLI Verdampfersysteme setzen statt einer heißen Metalloberfläche Heißgas ein, um die Flüssigmediumverdampfung zu bewerkstelligen. Das Flüssigmedium wird beim Eintritt in die Heißgaskammer durch ein Trägergassytem vernebelt. Sobald das vernebelte Flüssigmedium in Kontakt mit dem Heißgas kommt, verwandelt es sich augenblicklich in Dampf. Das Ergebnis ist chemisch reiner Dampf, frei von sich abspaltenden Nebenprodukten oder Verschleppung des Flüssigmediums.

Brooks bietet verschiedene Wärmetauscherkonstruktionen zur Anpassung an eine außerordentlich breite Spanne von Flüssigmediumeigenschaften: extrem niedrige Dampfdrücke (unter 133 Pa), sehr niedrige Durchflussraten (unter 5 g/h) und sehr hohe Durchflussraten (mehr als 15 kg/h).

Wesentliche Anwendungen:

  • Wasserdampfeinspritzung/Befeuchtung, z. B. Protonenaustauschmembranen für Brennstoffzellen, Arzneimittel
  • Siliziumdioxidabscheidung für LWL-Vorformen
  • Chemische Gasphasenabscheidung 
    • Industrielle Härtebeschichtungen
    • Gewebetränkung mit Polymer 
    • Mikroelektronik-Dünnschichten 
      • Isolierschichten
      • Dielektrische Schichten
      • Reflektierende und Antireflektions-Glasbeschichtungen
    Wählen Sie den Verdampfer, der Ihre Prozessanforderungen am besten erfüllt. 

    PRODUKTE

    DLIHV Series
    DLIHV Series
    DLIW Series
    DLIW Series
    DLISF
    DLISF
    Gerätetyp

    Vaporizer

     

    Vaporizer Vaporizer
    Unterscheidungsmerkmal

    Integrated design for high vapor capacity requirements, especially DI water

    Flexible, high purity, indirect vaporization-on-demand for most liquid precursors

    Indirect vaporization-on-demand

    High Purity 316L SS construction enables disassembly and cleaning

    Verdampfungsmethode Flash vaporization with/without atomization Direct liquid injection with atomization Direct liquid injection with atomization
    Art des Mediums Water Water, hydrocarbons, polymers, metal organics and metal halides Water, hydrocarbons, polymers, metal organics and metal halides
    Heizleistung 1500 W, 3000 W, 6000 W 200 - 5000 W 200 - 2250 W
    Maximaler Druck 1500 psig

    875 psig (standard)

    1450 psig (w/ radiography option)

    1500 psig
    Maximale Temperatur

    1500 & 3000 W: 150°C

    6000 W: 200°C

    Viton seal: 200°C

    Kalrez seal: 300°C

    Viton seal: 200°C

    Kalrez or metal seal: 300°C