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VDM100 Dampfbereitstellungsmodule

Höchste Durchflussgenauigkeit zur Regelung von entionisiertem, ultrareinem Wasserdampf.
Modelle VDM100
Das Dampfbereitstellungsmodul von Brooks Instrument (VDM, Vapor Delivery Module) ist ein eigenständiges Hochleistungsmodul für die Bereitstellung von ultrareinem Wasserdampf. Verfügt über ein ergieeffizientes Design zur Erzeugung von ultrareinem Dampf bei niedrigen Temperaturen. Es verwendet eine bewährte Dampfbereitstellungstechnik und kombiniert diese mit hochentwickelter digitaler Regelung und integrierten Diagnosefunktionen in einem kleinen, komfortablen Gehäuse.

Entwickelt für die hochentwickelten Abtragungs- und dem Metallätzen nachfolgenden Passivierungsprozesse, liefert das VDM verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, breitere Regelbereiche und niedrigere Energieverbräuche im Vergleich mit Entspannungsverdampfungssystemen. Basierend auf bewährten thermischen Messtechniken für Massedurchfluss produziert das VDM Dampf im nichtüberhitzten Dampfzustand und reduziert so die aggressiven Wirkungen entionisierten Wassers für eine verbesserte Zuverlässigkeit und saubereren Betrieb.

Es bietet auch benutzerfreundliche Datenaufzeichnungs- und Diagnosefunktionen über einen unabhängigen Serviceanschluss sowie eine intuitive grafische Bedienerschnittstelle.

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Merkmale

  • Durchflussbereich: 3 sl/min
  • Wasserdampfdirektmessung mit überlegener Durchflussgenauigkeit
  • Wird direkt am Hausanschluss für entionisiertes Wasser angeschlossen.
  • Arbeitet bei niedrigeren Temperaturen (kein überhitzter Zustand)
  • Für Spülen und Entleeren optimierte Konstruktion

Vorteile

  • Verwendet bewährte, zuverlässige thermische Techniken für Massedurchflussmessung und -regelung
  • In hohem Maße tolerant gegenüber Druckänderungen im Wasserzulauf
  • Verbesserte Korrosionsbeständigkeit
  • Sicherstellung eines saubereren Betriebs

Anwendungen

  • Dem Metallätzen nachfolgende Sliziumhalbleiterprozesse
  • Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern
  • Ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen

Gerätetyp

DI Water Vapor Delivery Module

 

Unterscheidungsmerkmal

High Purity Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

Leistung
Verdampfungsmethode
Vapor Draw
Art des Mediums
DI Water
Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm

Messberichsdynamik
20:1
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<2 sec

Genauigkeit

±1% SP @ 10-100% FS

±5% SP @ 5 - <10% FS

Linearität
±0.5% of FS
Wiederholbarkeit
<±0.2% FS
Temperaturkoeffizient
0.05% per °C zero and span
Schleichmengenunterdrückung

Normally Closed Valve: <0.5% FS

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0 - 5 Vdc

0 - 24 Vdc (with dongle)

Digitale Kommunikation

RS485 via 2.5mm jack plug (diagnostic port)

Elektrischer Anschluss

TBD

Heizleistung
260 Watts
Diagnose und Anzeige
Statuslampen

Zero

Fault

Ready

Warmup

Diagnose/Service-Port

RS-485 via 2.5mm jack

Mechanisch
Verschraubung

Outlet Vapor: 13/8" Female VCR

Inlet DI Water: 1/4" Male VCR or tube compression

Montageausrichtung
Vertical with DIW inlet fittings down
Kennwerte
Maximaler Druck

Vapor Outlet: 200 torr

Versorgungsdruck

DI Water: 10 - 40 psig

N2 Purge: 10 - 40 psig

15 - 45°C
Maximale Temperatur
~92°C
Totvolumen
0 to 95% RH, non-condensing
Beachtung
EMV
Fully CE compliant to EMC directive 89/336/EEC, EN 61326
Einhaltung von Umweltvorschriften
Compliant to EU directive 2002/95/EC

SEMI F47-0706

SEMI S2-0703

SEMI S8-1103

SEMI S14-1103

ULG1010-1 (UL Listed)

VDM100
Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm

Genauigkeit

±1% SP @ 10-100% FS

±5% SP @ 5 - <10% FS

Wiederholbarkeit <±0.2% FS
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<2 sec

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-24 Vdc (via dongle)

Digitale Kommunikation

RS-485 via 2.5mm jack plug

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English