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Verdampferprodukte

Die hochentwickelte Verdampfertechnologie ermöglicht eine reinere und effizientere Dampferzeugung.
Viele industrielle und Halbleiterprozesse erfordern die Überführung von Flüssigmedien wie Wasser und sonstigen flüssigen Vorprodukten in kontrollierte und reine Dämpfe. Brooks Instrument bietet ein breites Spektrum an Technologien der Dampfbereitstellung und Flüssigmediumdirekteinspritzung zur Erfüllung der entscheidenden Prozessanforderungen wie Dampfreinheit, Durchsatz und Wirtschaftlichkeit. 

Verdampfung ist der Phasenübergang von der flüssigen zur Gasphase. Daher ist ein Verdampfer jedes System, das ein Flüssigmedium in den Gaszustand überführt. Während die Verdampfung auf zahlreichen unterschiedlichen Wegen erreicht wird, weisen alle modernen Verdampfer mehrere gemeinsame Merkmale auf:

  • Erhöhung der Temperatur und/oder Reduzierung des Umgebungsdrucks des Flüssigmediums
  • Geschlossenes System zum Auffangen und Regeln des Dampfdurchflusses
  • Anwendung von Rückmelde- und Regelkreissystemen zur Regelung der Verdampfungsrate

WESENTLICHE ANWENDUNGEN

  • Wasserverdampfung/Befeuchtung
  • Chemische Gasphasenabscheidung
  • Ausfällung dünner Schichten für verbesserte thermische, optische oder Härteeigenschaften
  • Monomerverdampfung für Polymerschichtverteilung in Vakuum
  • Herstellung von Kalibrierdampf
  • Verdampfung flüssiger Kohlenwasserstoffe 

Brooks vapor products illustration

Enthalpie des Systems,
Gerätetyp
DI Water Vapor Delivery Module
Unterscheidungsmerkmal

High Purity Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

Verdampfungsmethode
Vapor Draw
Art des Mediums
DI Water
Dampfbereich

3000 sccm (DI Water) 

Heizleistung
260 Watts
Maximaler Druck
200 Torr
Maximale Temperatur
~92°C
  • Breites Spektrum an Flüssigmedien verdampfen
  • Extrem kurze Ansprechzeit
  • Vollständige Verdampfung mit hoher Wiederholbarkeit
  • Industrieller und hochentwickelter Halbleiterprozess
  • Weitgespannter Durchflussratenbereich
  • Nutzt Trägergas zum Zerstäuben und anschließenden Verdampfen der Flüssigkeit
Gerätetyp
Vaporizer
Unterscheidungsmerkmal
Flexible, high purity, indirect vaporization-on-demand for most liquid precursors
Verdampfungsmethode

Direct Liquid Injection, Flash Vaporization

Art des Mediums

DI Water, Metal Halides, Metal Organics, Other

Dampfbereich

83 gm/min (H2O equivalent)

Heizleistung
200 - 6000 Watts
Maximaler Druck

1500 psig

Maximale Temperatur
250°C