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Serie SLA5800 elastomergedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte

Erweitern und vereinfachen Sie Ihre Massedurchflussregelung
Modelle SLA5850 / SLA5860 / SLA5851 / SLA5861 / SLA5853 / SLA5863

Stellen Sie sich vor, Sie könnten innerhalb eines einzigen Prozesses mit nur einer gewählten Massedurchflussreglerplattform vierzehn unterschiedliche Druck- oder Durchflussraten bedienen. Und das alles mit immer derselben, extrem präzisen und wiederholbaren Regelung. Das ist die hochentwickelte Einfachheit, die Sie mit den Massedurchflussreglern und -messgeräten der Serie SLA5800 erhalten.

Die Serie SLA5800 weist die hohe Genauigkeit, hohe Nullpunktstabilität und hohe Wiederholbarkeit auf, die Sie vom branchenführenden Unternehmen in der Technologie der Massedurchflussmessung und -regelung erwarten. Mit der hochentwickelten, konfigurierbaren Multigas/Multirange Technologie bieten diese Geräte eine im Wettbewerbsvergleich geringere Nullpunktdrift. Die Werkskalibrierung und -genauigkeit bleiben bei Ihnen nachweislich länger erhalten.

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Merkmale

• Langzeitnullpunktstabilität von <0,2 % des Endwerts pro Jahr
• Hervorragende Genauigkeit
• Weiter Durchflussbereich - von 0,003 bis zu 2500 l/min
• Höchste Prozessdrücke bis zu 100 bar (optional: 310 bar)
• Programmierbare Multigas/Multirange Fähigkeiten
• Unabhängiger und einfach zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss 
• Breites Spektrum an Kommunikationsoptionen einschließlich DeviceNet®, EtherCAT®, Profibus® und RS-485 sowie Analogschnittstellen
• Servicefreundlichkeit sowohl im Werk als auch im Feld dank der Modulbauweise

Vorteile

• Die Sensorlangzeitstabilität reduziert die Erfordernis für Wartungen und regelmäßige Neukalibrierungen, sodass sich die Gesamtbetriebskosten reduzieren.
• Brooks Instrument liefert mit seiner proprietären thermischen Sensormesstechnologie überlegene Signal-Rausch-Leistungswerte für eine verbesserte Genauigkeit schon bei niedrigen Sollwerten.
• Wählen Sie eine Geräteplattform für unterschiedliche Gase und Durchflussbereiche.
• Die Speicherung und Vorprogrammierung von bis zu sechs Gaskalibrierungen auf einem einzigen Gerät ermöglichen dem Benutzer das einfache Umschalten auf die verschiedenen Gase und Bereiche. Damit verkleinert sich auch die Lagerhaltung.
• Der benutzerzugängliche Serviceanschluss erleichtert Installations-, Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten ohne Störung des Durchflussreglerbetriebs.
• Der solide und robuste Metalldeckel verhindert Schäden während der Installation.
• Die Multiprotokollkommunikationsschnittstelle vereinfacht die Integration in bestehende Systeme. 
• Die Genauigkeit wird durch überlegene Messtechnik und auf globalen Normen basierende Primärkalibriersysteme sichergestellt.

Anwendungen

• Katalysatorforschung und Pilotprozesse in Chemie und Petrochemie
• Labore und Analysesysteme
• Brennstoffzellentechnologie
• Bioreaktoren in der Biowissenschaft
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Wide Flow & Pressure Range

Superior Long-term Stability

High Accuracy

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
.003 - 2500 lpm
Genauigkeit

0.9% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS)

1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS

Wiederholbarkeit

0.20% SP

Linearität

Included in accuracy

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

0.003 - 100 slpm: <1 second

100 - 2500 slpm: <3 seconds

Multi-Gas & Range Configurability

Standard

Maximaler Druck

.003-100 slpm: 1500 psi/100 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

Regelbereich

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

Nullstabilität

< 0.2% F.S. per year

Temperaturkoeffizient

Zero: <0.05% of F.S per oC

Span: <0.1% of S.P. per oC

0.03% per psi (0-200 psi N2)

Ausrichtungsempfindlichkeit

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

Kennwerte
Maximale Temperatur
65oC
Differenzdruckbereich

Controllers

.003 - 50 lpm: 5 psi / 0.35 bar

50 - 100 lpm: 10 psi / 0.69 bar

500 lpm: 7.5 psi / 0.52 bar

1000 lpm: 14.5 psi / 1.00 bar

2500 lpm: 35.0 psi / 2.41 bar

 

Leckrate
1x10-9 atm cc/sec He
Mechanisch

Dichtungsmaterial
Elastomer Seal
Medienberührte Teile

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

Ventil

Normally Closed

Normally Open

Meter (no valve)

Diagnose

Diagnosefähigkeit
Available

Statuslampen

MFC Health, Network Status

Alarm

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

Diagnose/Service-Port
RS485 via 2.5mm jack

Elektrisch

Analoge Kommunikation

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

Digitale Kommunikation

DeviceNet™
FOUNDATIONTM Fieldbus
EtherCAT®
Profibus®
RS485 

Elektrischer Anschluss

DeviceNet™: 1xM12 with threaded coupling nut (B)

Profibus®: 1x15-pin Male Sub-D/1x9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

Spannungsversorgung

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts

Beachtung
Zertifikate und Zulassungen

CE: EMC Directive 2014/30/EU
Directive 2011/65/EU

UL (Recognized):
Class I, Div 2, Group A, B, C, D
Class I, Zone 2, IIC T4
Class II, Zone 22

ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

KOSHA: Ex nA IIC T4

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS

Größe
Medium
SLA5850 SLA5860 SLA5851 SLA5861 SLA5853 SLA5863
Gerätetyp Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter
Unterscheidungsmerkmal

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Durchflussbereich (Maximalwert) 0.003 - 50 lpm 0.003 - 50 lpm 15 - 100 lpm 15 - 100 lpm 100 - 2500 lpm 100 - 2500 lpm
Maximaler Druck

1500 psi / 100 bar

Optional 4500 psi / 310 bar

1500 psi / 100 bar

Optional: 4500 psi / 310 bar

1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1000 psi / 70 bar 1000 psi / 70 bar
Genauigkeit

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

100 - 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)

100 - 1100 lpm: 0.18% of F.S. (2-20% F.S.)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of F.S.

100 - 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)

100 - 1100 lpm: 0.18% of F.S. (2-20% F.S.)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of F.S.

Wiederholbarkeit 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil <1 second <1 second <1 second <1 seconds <3 seconds

<3 seconds

Multi-Gas & Range Configurability Standard Standard Standard Standard Standard Standard
Diagnosefähigkeit

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485


DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf German English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
RS485 Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: SLA5810 - A - 1B - 1 - C - RevB

Meter Series
  Digital Communications I/O

Mechanical Connection
(Body size 0 & 1 only)

  Valve Type
Analog Communications I/O
Revision Level
SLA5810
  A - None (select applicable analog I/O)
 1A - w/o adapters, 9/16” - 18 UNF
   0 - None (Sensor only)
 A - None - Digital Communications only
 RevB
SLA5820
  D - DeviceNet I/O (with 5-pin micro connector)
 1B - 1/4” tube compression
   1 - Normally closed
 B - 0-5 V / 0-5 V 15-pin D-conn  
SLA5840
  P - Profibus (2x sub-D)
 1C - 1/8” tube compression
   2 - Normally closed
   (Pressure diff. >30 psig (2 bar))
 C - 4-20 mA / 4-20 mA 15-pin D-conn
 
SLA5850
  S - RS485 (select applicable analog I/O)
 1D - 3/8” tube compression
   3 - Normally closed
   (Pressure diff. <30 psig (2 bar))
 L - 1-5 V / 1-5 V 15-pin D-conn
 
     1E - 1/4” VCR
   4 - Normally closed - high pressure
 M - 0-20 mA / 0-20 mA 15-pin D-conn
 
     1F - 1/4” VCO
   5 - Normally open
 0 - 0-10 V / 0-10 V 15-pin D-conn
 
     1G - 1/4” NPT
   1 - 0-5 V / 4-20 mA 15-pin D-conn
 
     1H - 6 mm tube compression
   2 - 0-5 V / 0-20 mA 15-pin D-conn
 
   
 *See data sheet for more options

   *See data sheet for more options
 
    (Body size 3 only)
     
     2A - Without adapters, 9/16” - 18 UNF
     
     2B - 1-1/16”-12 SAE/MS
     
     2C - 3/8” tube compression
     
     2D - 1/2” tube compression
     
   
*See data sheet for more options

 

 
Serie 0254

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260

Steuert und Überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows-basierte Anwendung, die eine weitreichende Kontrolle über die Massedurchflussregler, Anzeigen und Druckregler der Serien SLA58XX und SLAMfXX bietet.

Brooks LabVIEW™ DLL

Mit der Brooks LabVIEW™ DLL Software kann der Benutzer die Kommunikation mit digitalen Massedurchflussreglern und/oder elektronischen Sekundärsystemen von Brooks inrichten, eine lizenzierte LabVIEW-Programm ist nicht erforderlich.

Smart DDE

Smart DDE ist ein Softwareprodukt von Brooks für den dynamischen Datenaustausch. Es ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und den Brooks® RS485-S-Protocol Geräten.