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Serie 9861 Hochtemperatur-Massedurchflussregler und -messgeräte

Verbesserung von Präzision und Effizienz bei der Hochtemperatur-Durchflussregelung
Modelle 9861
Die thermischen Hochtemperatur-Massedurchflussregler und -messgeräte der Serie 9861 von Brooks Instrument wurden für die Herausforderungen entwickelt, die sich bei der Hochtemperaturbereitstellung kondensierfähiger Vorprodukte und Dotiersubstanzen stellen. Sie bieten einen auschließlich matallischen Medienwg hoher Oberflächengüte und hoher Dichtheit, der die Kompatibilität mit allen Prozessgasen und -dämpfen sicherstellt. Der patentierte IsoSensor™ ist ein Durchflusssensor hoher Stabilität und kompatibel mit den erhöhten Umgebungstemperaturen in beheizten Gasleitungen und Aufheizsystemen. Durch extrem niedriges Driftverhalten des IsoSensor™ sind Nullpunktneueinstellungen und Neukalibrierungen wesentlich seltener als sonst bei Hochtemperaturanwendungen erforderlich.

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Merkmale

  • Extrem stabiler patentierter Durchflussmesssensor IsoSensor™ 
  • Strömungsweg mit sehr hoher Oberflächengüte
  • Externe Elektronik verfügt standardmäßig über zwei analoge elektrische Steckverbinder
  • Digitale Mess- und Regelarchitektur

Vorteile

  • Längere Betriebszeit, d. h. weniger Wartung und geringere Gesamtbetriebskosten, dank hoher Sensorstabilität
  • Gesamter medienberührter Strömungsweg aus Metall für Integrität und Reinheit des Mediums (Gas/Dampf)
  • Standardisierung und Inventarverkleinerung dank des mitgelieferten 20-poligen Crad-Edge-Steckers und eines 9- oder 15-poligen D-Steckverbinders
  • Verbesserte Genauigkeit und Prozessregelung

Anwendungen

  • LWL-Herstellung - MCVD
  • Herstellungsverfahren für Siliziumhalbleitergeräte
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
10 slm (N2 equivalent)
Genauigkeit

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

Wiederholbarkeit
<±0.15% FS
Linearität

±0.5% FS (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Nullstabilität
<±0.5% FS per °C
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad
4 μ inch Ra
Medienberührte Teile

316L SS/ KM-45/ 304 SS/ MO+

Ventil

Normally Closed

Meter (no valve)

Kennwerte
Maximale Temperatur
150oC
Differenzdruckbereich

1.33 - 350 kPa (10 torr - 50 psia)

*Contact Brooks Technical Support for more information.

Maximaler Druck

620 kPa (90 psi)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Elektrisch


Diagnosefähigkeit
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

Elektrischer Anschluss

Analog via 9- or 15-Pin "D" connector & 20 Pin Card Edge connector

Spannungsversorgung

Controller (Analog & RS-485L): 5 Watts max @ ±15 Vdc (160 mA max)

Meter (Analog): 5 Watts max @ ±15 Vdc (50 mA max)

9861
Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 10 slm (N2 equivalent)
Oberflächenbeschaffenheit 4µ inch Ra
Genauigkeit

±1% SP @ 35 - 100% FS

±0.35% FS @ <35% FS

Wiederholbarkeit < ±0.15% FS
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

 

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485L Protocol

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DateinameDateityp
9861-4R-U STEP
9861-4R-U IGS
9861-4R-U DXF