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Serie 5850EMH Hochtemperatur-Massedurchflussregler

Geprüfte Langzeitstabilität. Hochreine Anwendungen auch bei Hochtemperatur Applikationen
Modelle 5850EMH / 5851EMH

Außergewöhnlich Leistungsfähige Hochtemperatur Gasdurchflussmessung und –regelung: Die Serie 5850EMH von Brooks Instrument für Hochtemperaturanwendungen mit Anforderungen an metallische Dichtungen vereint extrem geringe Leckraten mit einer Vielzahl an Optionen zur Anpassung an ihren Prozess. Das Herz der 5850EMH Serie ist der Sensor, der über einen weiten Bereich ein Lineares Messsignal liefert. Das Signal kann zum Anzeigen, Aufzeichnen oder Regeln genutzt werden ohne dass eine regelmäßige Nullpunktüberprüfung stattfinden muss.

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Merkmale

  • Hohe Dichtheit (unter 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
  • Großer Durchflussbereich (0,003 – 100 sl/min)
  • Hochreiner Edelstahl VAR 316L
  • Partikelfrei
  • Anschlüsse für Helium-Lecktest
  • Stromlos geschlossenes Ventil (als Option: stromlos geöffnet)
  • Elektrisch aktivierte Ventilübersteuerung
  • Aktivierbare Schleichmengenunterdrückung
  • TTL-kompatible „Ventil-Aus“-Funktion

Vorteile

  • Stabile, bewährte Produktplattform
  • Hoher Durchfluss bis 100 l/min* (N2-Äquivalent)
  • Verbesserte Gasreinheit und Dichtheit durch einen vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg
  • Einfache Installation und Wartung mit analogen Ein- und Ausgängen

Anwendungen

  • Herstellung von LWL – MCVD, OVD, AVD
  • Durchflussregelung von Wasserdampf
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
100 slm (N2 equivalent)
Genauigkeit

1% of FS

Wiederholbarkeit
<±0.25% SP
Linearität

Included in accuracy.

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Nullstabilität
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad
Medienberührte Teile

316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS

Ventil

Normally Open

Normally Closed

Kennwerte
Maximale Temperatur
105oC
Differenzdruckbereich

50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

Maximaler Druck

1 MPa (145 psi)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He (1x10-11 Pa m3 /sec)
Elektrisch


Diagnosefähigkeit
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation
Elektrischer Anschluss

15-Pin "D" connector

Spannungsversorgung

±15 Vdc @ 350 mA (max)

5850EMH 5851EMH
Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) 10 - 100 slm (N2 equivalent)
Genauigkeit

±1% FS

±1% FS

Wiederholbarkeit < ±0.25% of SP < ±0.25% SP
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Quick Start Guide pdf English