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Hochreine und ultrareine Gas-Massendurchflussregler und -messgeräte

Herausforderung: Geräteverfügbarkeit und -produktivität maximieren

Für viele Halbleiterprozessgeräte ist die Zuverlässigkeit und vielseitige Leistungsfähigkeit des Massedurchflussreglers von fundamentaler Wichtigkeit. Die hohen Investitionen für Prozessgeräte rechnen sich nur dann, wenn diese im laufenden Produktionsbetrieb stehen. Überschreitet die Drift eines Massedurchflussregler ausschlaggebende Sollwerte oder erfordern neue Fertigungsprozesse mehrere Gase (und mehrere Massedurchflussregler), dann eskaliert die Stillstandszeit für Umstellungen und/oder Neukalibrierung oder Instandsetzung.

Lösung: Der hochentwickelte MultiFlo®-fähige Massedurchflussregler der Serie GF

Genaue und wiederholbare Bereitstellung von Prozessgasen in ultrahoher Reinheitsstufe — diese Leistung bieten die metallgedichteten Massedurchflussregler und -messgeräte der Serie GF. Die Serie GF wurde im Dauerbetrieb entsprechend dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards auf Zuverlässigkeit getestet. Ein vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg und korrosionsbeständiger Hastelloy®-Sensor gewährleisten die höchste Stufe für Gasreinheit und feuchtefreien Durchfluss. Und die einzigartige programmierbare MultiFlo® Technologie ermöglicht einem Massedurchflussregler, unzählige Gasarten und Bereichskombinationen zu unterstützen.

Das Ergebnis: Erhöhte Prozessflexibilität und -effizienz kombiniert mit den branchenweit höchsten Reinheitsstufen für Prozessgas, um zur Maximierung von Ertrag und Produktivität beizutragen.