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Ultrareine Druckaufnehmer und Transmitter

Herausforderung: Verbesserung des Gasmanagements in ultrareinen Prozessen

In vielen Fabriken sind die Gasvorratsspeicher und Steuerschränke in großer Entfernung von den zu versorgenden Geräten angeordnet. Für die Gerätenutzung und Verfügbarkeit rund um die Uhr ist die genaue und kontrollierte Bereitstellung solcher Gase entscheidend – deshalb sind Druckaufnehmer und -transmitter zu implementieren, die Druckniveaus messen, verfolgen und kommunizieren und bei Abweichungen vom Sollwerte Alarme generieren.

Lösung: SolidSense II® Druckaufnehmer

Die Druckaufnehmer SolidSense II® von Brooks wurden für die Handhabung der in den meisten derzeit genutzten Halbleiterkantenschneidprozessen und -knoten verwendeten komplexen und manchmal rauen Gase entwickelt. In ihnen sind schweißnahtlose, korrosionsbeständige Materialien mit einer Genauigkeit von 0,25% vom Endwert kombiniert. Und durch Nutzung eines einzigartigen, aus qualitativ hochwertigem Edelstahl gefertigten einteiligen Sensors weisen die SolidSense II Aufnehmer unabhängig vom gemessenen Gas eine hervorragende Langzeitstabilität auf.