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Hochreine und ultrahochreine Druckschalter und -transmitter

Herausforderung: Wirtschaftliche Wege für ein besseres Druckmanagement finden.

Die Verbesserung der Regelung des Prozessgasdrucks erfordert ein genaues Messen an entscheidenden Stellen innerhalb des Gasverteilungsystems—nicht direkt an jedem Ende des Massedurchflussreglers. Weicht der Druck von den Sollwerten ab, dann kann an einer entscheidenden Rohrverbindung oder Trennstelle eine gefährliche Leckage oder Verstopfung vorliegen. 

Lösung: Die bewährten Druckschalter und Transmitter von Brooks Instrument 

Durch Kombination aus herausragender Vielfalt und bewährter, wirtschaftlicher Funktionalität in Halbleiter- und Industrieproduktionseinrichtungen auf der ganzen Welt bietet Brooks Instrument ein breites Spektrum an Manometern, Druckschaltern und Transmittern, die unter Verwendung langlebiger Konstruktionen und Werkstoffe eine zuverlässige und genaue Funktion in Prozessen zur Bereitstellung hochreiner Halbleitergase liefern.