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Halbleiterprodukte

Absolute Präzision und Kontrolle. Für die weltweit anspruchsvollste Branche.

Präzise und wiederholbare Prozessregelung: Sie ist die treibende Kraft in der Halbleiter- und Elektronikfertigung. So wie bisher jede erfolgreiche Generation von nachfolgende Tools und Prozessen Geräte-, Prozess- und Knotengeneration entwickelt wurde und zum Einsatz kam, machen die extremen, ultrahohen Leistungsanforderungen und Nachfragen nach andauernder Innovation und Verbesserung auch in bei der Entwicklung der  Durchfluss- und Druckinstrumentierung jetzt – und weiterhin - nicht halt.

Brooks Instrument bedient diese Erwartungen mit den branchenweit am höchsten entwickelten Lösungen für Durchfluss, Druck, Vakuum und Verdampfung. Unser Halbleiterproduktportfolio beruht auf unserer jahrzehntelangen Erfahrung in der Schaffung vieler bahnbrechender Mess- und Regelgeräte, die heute Standardkomponenten der auf allen Ebenen der Industrie eingesetzten Prozessgeräte sind.

Und wenn Sie Halbleiterprodukte von Brooks Instrument wählen, dann wählen Sie auch das einzigartige Verständnis und die Ressourcen, die nur wir zur Lösung wesentlicher Prozess- und Ertragsherausforderungen für FEOL bis BEOL mitbringen (Front/Back End Of Line, Anfang/Ende der Fertigungslinie):

  • Erfahrung: Führende Semicon Toolhersteller orientieren sich an der bewährten Erfahrung und dem Verständnis der Brooks-Mitarbeiter zur Verfeinerung unserer Mess- und Regeltechnologie für Durchfluss- und Druck, wenn es um Anpassungen an spezielle Prozessgase, Kammerabstimmungen und Durchsatzherausforderungen geht. 
  • Präzision: Brooks bietet Kunden mit seinen angebotenen Geräten das am besten geeignete anwendungsspezifische Genauigkeitsniveau, Zuverlässigkeit  und Reproduzierbarkeit um einen Beitrag zur Bewältigung der stetig steigenden Toolkosten zu leisten. Wie investieren ständig in die Verbesserung unseres Portfolios, damit jedes Gerät zur verbesserten Prozessregelung beiträgt, die sich letztendlich in Produktivität und Ertrag niederschlägt.
  • Zuverlässigkeit: Die Halbleiterprodukte von Brooks wurden mit Stahlsorten und Legierungen höchster Qualität, digitaler Hochleistungselektronik und patentierten Sensorkonstruktionen entwickelt, um für Jahrzehnte eine genaue, wiederholbare Messung und Regelung, insbesondere Iin Wechselwirkung mit exotischen Prozessgasen, bereitzustellen. 
  • Fokussierung: Brooks fokussiert sich in einzigartiger Weise auf die Messung und Regelung von Durchfluss und Druck. Die wachsende Servicefähigkeit in globaler Aufstellung bietet schnellere Reaktionen bei Geräteproblemen und besseren Support über den Lebenszyklus der von uns angebotenen Halbleiterprodukte.
  • Unterstützung: Unterstützend bieten wir Anwendungserfahrung, kundenspezifische Messkonfigurationen, Service und Beratung bei der Produktauswahl.