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Metallgedichteter Druckregler und Durchflussmesser SLA7840

Hochreiner Strömungsweg. Überlegene Wiederholbarkeit, Stabilität und Ansprechzeit.
Modelle SLA7840
Das Brooks Modell SLA7840 ist ein metallgedichtetes, hochreines Gerät zur Druckregelung und Durchflussmessung. Ein externes Druckaufnehmersignal hält zusammen mit der einstellbaren integrierten PID-Regelelektronik und einem Coplanar-Regelventil den gewünschten Solldruck aufrecht. Das Coplanar-Ventil reduziert die Empfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen und bietet im Vergleich mit anderen metallgedichteten Reglern geringere Leckraten, sodass ein dauerstabilerer Prozess sichergestellt wird.

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Merkmale

  • Integrierter Druckaufnehmer
  • Ansprechzeit: <1 Sekunde
  • Breiter Durchflussmessbereich mit Endwertdurchflussraten von 3 sml/min bis 30. sl/min
  • Max. Druck 35bar
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Maximale Oberflächenrauigkeit Ra 0,8 µm
  • Coplanar-Ventil bietet geringere Leckraten.
  • Mehrgas-/Mehrbereichfähigkeit ermöglicht die Speicherung und Vorprogrammierung von bis zu 10 Gaskalibrierungen und -bereichen auf einem einzelnen Gerät.
  • DeviceNet® und analoge Kommunikationsoptionen

Vorteile

  • Der größere Regelbereich des Coplanar-Ventils reduziert die Empfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen im Prozess, sodass ein dauerstabilerer Prozess sichergestellt wird.
  • Gesamter medienberührter Strömungsweg aus Metall zur Aufrechterhaltung partikel-, feuchte- und verunreinigungsfreier Prozessbedingungen
  • Für Kalibrier- oder Testzwecke lässt sich das Gerät auch als Massedurchflussregler konfigurieren.
  • Mehrgas-/Mehrbereichfähigkeit reduziert die Lagerhaltung.
  • Durch den größeren Regelbereich des Coplanar-Ventils verringerte Anzahl der für die Prozessregelung erforderlichen Teile.
  • Kompakte, raumsparende Bauform erleichtert Umrüstungen
  • Digitale Kommunikation bietet unkomplizierte Inbetriebnahme und reduzierte Systemverdrahtung.
Gerätetyp

Pressure Controller & Flow Meter

Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

Genauigkeit

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Wiederholbarkeit

±0.2% of rate

Temperaturkoeffizient

Zero: Less than 0.035% FS per °C

Span: Less than 0.1% of Rate per °C

Druckbereich
Dependent upon remote pressure transducer, maximum 500 psig.
Druckregelbereich

20:1

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

Kennwerte


Maximaler Druck
500 psig

Operating: 0°C to 60°C

Non-Operating: -25°C to 100°C

Fluid: 0°C to 65°C

Leckrate

Inboard to Outboard

1 x 10-10 atm scc/sec Helium max

Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad

32 µ inch Ra

Medienberührte Teile

316L Vacuum Arc Remelt (VAR)

316L

High-Alloy Ferritic Stainless Steel

External/Internal Seals: Nickel

Valve Seat: 316L Stainless Steel - standard

Ventil

Normally Closed

Elektrisch
Diagnosefähigkeit
Available

Analoge Kommunikation

0 - 5 Vdc

Digitale Kommunikation
DeviceNet™
Elektrischer Anschluss

Analog via 15-Pin "D" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

Spannungsversorgung

Analog: +15 Vdc, ±5% (traditional -15 Vdc pin is ignored)

DeviceNet™: 11 - 25 Vdc

SLA7840
Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq. 

Druckregelbereich

20:1

Maximaler Druck

500 psig

Dichtungsmaterial

Metal

Elektrischer Anschluss

15-Pin "D" Connector

5-Pin "M12" Connector

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Supplemental Manual - DeviceNet™ pdf English