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Metallgedichtete Druckregler

Stabile Druckregelung und verbesserte Prozessgasreinheit. Maximierte Druckmessergebnisse.

Die metallgedichteten Druckregler von Brooks Instrument wurden als zuverlässige und langlebige Geräte entwickelt, um den weltweiten Anwendern die dauerhafte und bewährte Genauigkeit zu bieten, die vom führenden Unternehmen in der Medienmessung und -regelung erwartet werden darf. Unsere elektronischen Druckregler nutzen die in unseren branchenführenden thermischen Massedurchflussreglern vorhandene Regeltechnologie. 

Elektronische Druckregler beseitigen die bei herkömmlichen mechanischen Federmembrandruckreglern auftretenden Regeldifferenz und Hysterese. Durch die Wahl eines metallgedichteten Druckreglers ergibt sich aufgrund des Entfalls von Sauerstoffpermeation durch die Elastomere eine verbesserte Gasreinheit. Weil Metalldichtungen unbegrenzt halten, reduziert sich der Wartungsaufwand.

Brooks Druckregler sind mit internen Druckaufnehmern für Druckregelungen im Bereich von 1,33 mBar bis 35 Bar verfügbar. Das Ergebnis: Druckregler für den zielgerichteten Ablauf kritischer Durchflussprozesse und unter lückenloser, stringenter Kontrolle – Tag ein und Tag aus.

Wesentliche Anwendungen

  • Fertigungsprozesse für Siliziumhalbleitergeräte – Ätzen, Abtragen, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implantation und RTP
  • Fertigungsprozesse für Halbleiterverbundgeräte – MOCVD
  • Präzisionsgefertigte Oberflächenbeschichtungen
  • Analysesysteme
  • Vakuumprozessanwendungen

Wählen Sie das Druckregelgerät, das Ihre Projektanforderungen am besten erfüllt.

PRODUKTE

SLA7840
SLA7840
Serie PC100
Serie PC100
Gerätetyp

Pressure Controller & Flow Meter

Pressure Controller
Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

Druckregelbereich

20:1

> 2 to 100%

Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

10 slm (N2 or H2 only)

Genauigkeit

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

Wiederholbarkeit

±0.2% of rate

< ±0.2% F.S.

Dichtungsmaterial Metal Metal
Reinheitsgrad

32 µ inch Ra

5 µ inch Ra

Diagnosefähigkeit Available

Available

Analoge Kommunikation

0 - 5 Vdc

Digitale Kommunikation DeviceNet™

DeviceNet™