Skip links

Serie 122 mechanische Manometer

Zuverlässige, effiziente Überwachung lokaler Drücke für hochreine Anwendungen.
Modelle S122 / C122 / F122
Die mechanischen Manometer der Serie 122 von Brooks Instrument wurden für die anspruchsvollen hochreinen Anwendungen der Halbleiterbranche entwickelt und konstruiert. Aus Edelstahl gefertigt bieten sie eine Genauigkeit von 1% des Endwerts. Diese unverwüstlichen 50-mm-Manometer bieten mit vielfältigen Druckanschlüssen, Druckbereichen und Sockelausrichtungen eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit zur lokalen Drucküberwachung.

Fragen?

Sprechen Sie mit einem unserer Anwendungsexperten:

Rufen Sie an unter: +49 351 215 20410

Want to see it in action?

Request a Demo

Need the numbers?

Get a Quote

Merkmale

  • Präzise Funktion durch Edelstahlmechanik
  • Medienberührte Teile aus Edelstahl 316L
  • In sauerstofffreier Atmosphäre geschweißte Manometer erfüllen strenge Reinheits- und Sicherheitsrichtlinien. 
  • Vielfältige Modelle und Druckbereiche zur Unterstützung spezifischer Konstruktionsanforderungen

Vorteile

  • Langlebige und effiziente Möglichkeit der lokalen Drucküberwachung 

Anwendungen

  • Für die Halbleiterverarbeitung verwendete Gasversorgungssysteme und -geräte, wie: 
    • Gasspeicher
    • Gassteuerschränke
    • Gasverteilungsnetz 
Gerätetyp
Mechanical Pressure Gauges
Unterscheidungsmerkmal

High-Purity

Leistung
Druckbereich

- 30" - 4000 psi

Genauigkeit
1% Full Scale
Berstdruck
400%
Druckfest
110%
Kennwerte
Sicherheitsstellung
Unrestricted rear blow-out plug
Helium Lecktest
4 x 10-9 Inboard Std. cc/sec
Sauberkeit
Cleaned for oxygen service to ANSI B40.1 level IV specifications
Mechanisch
Gehäuse
300 Series Stainless Steel, electropolished
Lünette und Linsenmaterial
One-piece polycarbonate, screw-on
Sockelmaterial
316L Stainless Steel
Bewegung

300 Series Stainless Steel

Röhrenmanometer
316L Stainless Steel
Prozessanschluss

Face-seal male, Face-seal swivel male,

Face-seal swivel female and 1/4" NPT male

Wählen
White with Black markings, "Use no Oil" is red
Oberflächenbeschaffenheit

Not Applicable

S122 C122 F122
Unterscheidungsmerkmal Socket Orientation Socket Orientation Socket Orientation
Druckbereich Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi
Genauigkeit 1% FS 1% FS 1% FS
Sockelausrichtung Stem Mounted

Center Back Mounted

Center Back Mounted with SS Front Flange

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English