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Kapazitätsmanometer

Hochentwickelte Manometertechnologie liefert dauerhafte Vakuumgenauigkeit.
Für jeden Vakuumprozess ist das Prozessergebnis vom Erreichen eines präzisen Druckniveaus abhängig. Mit branchenführenden, hochentwickelten Konstruktionsmerkmalen verbessern die Kapazitätsmanometer von Brooks Instrument die Zuverlässigkeit,, minimieren Drift und thermische Einflüsse und widerstehen Membrankontaminationen. Da Brooks Kapazitätsmanometer vollständig digitale Geräte sind, arbeiten sie über einen breiten Dynamikbereich mit extrem hoher Genauigkeit. Das Ergebnis ist eine außergewöhnlich zuverlässige Kapazitätsmanometerbaureihe für alle Vakuumanwendungen.

WESENTLICHE ANWENDUNGEN

  • Supraleiterherstellung
  • Dünnschichtabscheidungsprozesse – Glas-, Gewebe- und optische Beschichtungen
  • Gefriertrocknung leichtverderblicher Materialien
  • Hightech-Beschichtungen medizinischer Instrumente (chirurgische Instrumente, Zahnbohrer)
Wählen Sie das Kapazitätsmanometer, das Ihre Projektanforderungen am besten erfüllt. 

PRODUKTE

Serie CMC
Serie CMC
Serie XacTorr®
Serie XacTorr®
Gerätetyp Capacitance Manometer Capacitance Manometer
Unterscheidungsmerkmal

Unheated

Heated or Unheated

Analog or Digital

 

Druckbereich

10, 20, 50, 100, 500 and 1000 Torr Full Scale

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

Genauigkeit

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

Temperatur Ambient

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

Analoge Kommunikation

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

0-10 Vdc 5k Ohm load
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485

Größe Compact Large