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Druck- und Vakuumprodukte

Innovative Druck- und Vakuummessgeräte. Weltweite Spitzenklasse in Genauigkeit und Zuverlässigkeit.

Wird ein Durchfluss gemessen, ist meistens auch eine Druck oder Vakuummessung erforderlich – bei der wir helfen können. Seit Jahrzehnten ist Brooks Instrument ein führendes Unternehmen in der Technologie der Durchflussmessung und -regelung. Heute sind wir ein global führendes Unternehmen in der Medienpräzisionsmessung und -regelung mit einem bewährten Portfolio bestehend aus Druck- und Vakuummessgeräten, Messumformern, Reglern und Kapazitätsmanometern zur Erfüllung der meisten anspruchsvollen Prozessanforderungen.

Bei der Feinjustierung der aus Ihren Prozessen erlangten Ergebnisse erhalten Sie Unterstützung durch unsere Druck- und Vakuumprodukte der weltweiten Spitzenklasse in Genauigkeit und Wiederholbarkeit. 

Unsere Druck- und Vakuumtechnologie wird von Halbleiter-OEMs, Gasversorgungsschrank Lieferanten und Vakuumsystemherstellern einschließlich Dünnschichtabscheidungssystemen und Hightech-Spezialöfen verwendet. Unser Portfolio umfasst Regler und Sensoren für die präzise Messung in Druckbereichen von Vakuum bis 205 bar; unsere Technologien lösen Ihre Herausforderungen bei der Erfassung und Regelung in Gasen und Vakuum mit folgenden Produkten: 

  • Ultrareine Druckaufnehmer für die höchsten Gasmessanforderungen
  • Edelstahlmanometer, -schalter und -druckaufnehmer für eine genaue und wirtschaftliche lokale Messung
  • Branchenführende, hochgenaue Kapazitätsmanometer für die Kontrolle höchstkritischer Vakuumprozesse
Brooks SolidSense II Druckaufnehmer Cutaway

SolidSense II®, Druck Wandler
Kapazität
60, 100 or 300 lbs
Größe
Compact
Zertifikate und Zulassungen

FM and ATEX

Druckbereich
-15 psi - 4,000 psi
Genauigkeit
1% Full Scale
Verwendete Materialien
Aluminum or Stainless Steel
Druckbereich

-15 psi - 3000 psi

Genauigkeit

0.25 % Full Scale

Zertifikate und Zulassungen
CE, FM and ATEX
Maximaler Druck
4500 psia
Maximale Temperatur
65°C
Maximaler Druck
500 psig
Temperatur
65°C
Druckbereich

100 mTorr- 1000 Torr

Genauigkeit

0.15 - 0.2% of Reading

Temperaturbereich
Ambient - 160 oC