Brooks Instrument Blog

Ontworpen voor halfgeleiders, MOCVD, en andere gas-flow control toepassingen waarbij een hoge zuiverheid, geheel metalen stromingspad, de Brooks GF100-serie mass flow controllers leveren uitstekende prestaties, betrouwbaarheid, en flexibiliteit. Hoogtepunten van de GF100-serie toonaangevende functies zijn onder meer: ultrasnelle 300 milliseconde de afwikkeling van de tijd, MultiFlo ™ gas en het bereik programmeerbaarheid, optionele druk van voorbijgaande aard ongevoeligheid (PTI), lokaal display, zeer lage bevochtigd oppervlak, en corrosiebestendig Hastelloy ® sensor buis en klepzitting.

GF120XSD is een uitbreiding van Brooks GF100-serie thermische massa flow controller familie (MFC). Ontworpen voor extreme lage druk gebruik, de GF120XSD is geoptimaliseerd voor de exacte levering van hoge waarde, lage druk speciale gassen.

In het hart van massastroomregelaar is de stroming sensor welke van de twee temperatuur gecontroleerde wikkelingen bestaat rond een dunwandige capillair. Omdat stroom door de buis (in een precieze verhouding van de hoofdstroom van gas door het lichaam van de machine), de gasmoleculen te voeren warmte naar beneden de sensor buis van de eerste verwarmde zone, verhoging van de temperatuur in de tweede verhitte zone. De verandering in temperatuur recht evenredig met de massastroom van het gas in de buis. Door de juiste bemonstering (of flow-splitsing) De sensoren evenredig is met de totale stroom van gas die door het instrument. Aangezien de dompelbuis ID erg klein (0.010″ ID), en door het feit dat sommige ventielen drukval stabiele instelling nodig, massastroomregelaar is in het algemeen een drukverschil van 5-10 psid om het gas te rijden door het apparaat.

In micro-elektronische industrie, een groot aantal gassen worden met zeer giftige gassen implantaat depositieproces. voor veilige hantering, deze gassen worden vaak opgenomen in speciale cilinders die grote hoeveelheden van het giftige gas kan houden op sub atmosferische druk. Dit vereenvoudigt de transport, behandeling en levering van het gas, maar creëert uitdagingen voor de mass flow controllers gebruikt om nauwkeurig de stroom van gas naar de proceskamer. Als het gas wordt verbruikt de drukvervallen, waardoor grote problemen traditionele mass flow controllers dat een relatief hoog drukverschil aan de stroom dwars door het apparaat moet.

De Brooks GF120XSD maakt gebruik van een grote diameter, lage drukval thermische flowsensor. Door het geleidend vermogen van de flowsensor, minder druk moet afgesplitst het monstergas voor de meting. In combinatie met een hoge nauwkeurigheid stoken regelklep ter minimalisering van de drukval, de GF120XSD precies control flow met <1/100^e van een sfeer van de inlaatdruk (en vacuüm uitlaatdruk).

Deze zeer lage druk maatregel is het mogelijk gebruik te maken zoveel 90% van de waardevolle lage druk specialiteit procesgassen, een ~ 40% verbetering ten opzichte van mass flow controllers.

In een recente OEM-kwalificatie, de GF120XSD aangetoond beste nauwkeurigheid en stabiliteit van stroom bij zeer lage druk, met flow stabilisatietijd verminderd met seconden in vergelijking met vorige generaties van Brooks lage druk mass flow controllers, verdere verbetering van de efficiëntie van gasverbruik.