당신은 얼마나 낮게 갈 수? 인가 압력.
2월 21일, 2012
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반도체위한 설계, MOCVD, 그리고 고순도 모든 금속 유동 경로 필요한 다른 가스 유량 제어 어플 리케이션, 브룩스 GF100 시리즈 질량 유량 컨트롤러 뛰어난 성능을 제공, 신뢰성, 및 유연성. GF100 시리즈는 업계 선도적인 기능의 주요 특징은 다음과 같습니다: 극도로 빠른 300 밀리초 시간을 정착, MultiFlo ™ 가스와 범위 프로그래밍, 선택적 압력 과도 무감각 (PTI), 로컬 디스플레이, 매우 낮은 침수 면적, 부식 방지 Hastelloy ® 센서 튜브와 밸브 시트.
GF120XSD은 브룩스 GF100 시리즈 열 질량 유량 컨트롤러 제품군의 확장입니다 (MFC). 극단적인 저압 작동을위한 설계, GF120XSD은 높은 가치의 정확한 전달을 위해 최적화되었습니다, 저압 특수 가스. 자세히보기…
