브룩스 악기 블로그

고객의 많은 항목에 치료를 적용하는 증기로 액체를 활성화해야, 또는 무언가를 만드는 재료로 증기를 사용하는 방법. 몇 가지 구체적인 예를 들면 다음과 같습니다 MOCVD, 원자층 증착, 또는 진공 폴리머 필름 증착. 안정적으로 증기를 생성하는 것입니다 대단히 어려운, 및 증기의 많은 사용자가 함께 자신의 증기 생성 시스템을 자갈 모든이 예상대로 작동 가정. 현재 우리의 기화기 시스템을 사용하는 고객의 대부분은 자신의 창조물로 시작, 그들의 결과가 발생한 후 브룩스 시스템 변경과 같은 디자인을 집으로 만든: 일관성 수율, 챔버 압력 스파이크, 예상보다 높은 위치 운영 경비, 증기 수요를 변경 지원하는 무능력, 또는 안전에 문제가 있거나 우려.

이 동영상에서, 에드 피셔는 더 큰 통합 중 하나의 개요를 제공합니다 직접 액체 주입 기화기 시스템 브룩스 악기가 완료되었다는.이 완전 자동 증기 생성 솔루션 methyltrichlorosilane 제공 (MTS) 주문형 수소와 수증기 혼합 - 언제 어디서나 고객이 증기를 필요로. 그것은 캐비닛 또는 작은 금속 플레이트에 장착된 것 여부, 모든 브룩스 기화기가 제공하는 응용 프로그램의 정확한 요구를 충족하도록 구성되어 있습니다:

수요에 기상: 브룩스에서 사용하는 기화의 독특한 방법은 가능한 증기 유량 응답 켜기 / 끄기 속도를 제공합니다. 비디오 듀얼 기화기 설계는 또한 극도로 유연; 이 vaporizers의 증기 출력이 두 개의 서로 다른 프로세스로 보낼 수 있도록, 증기 수요 증가가있을 때마다 또는 두 증기 출력을 결합하거나, 개별 프로세스로 보낼 수 있습니다.

안전 증기 생성: 동영상에 나타난 바와 같이, 브룩스 디자인은 유해 물질을 포함하는 시스템의 위치를​​ 식별하기 위해 컬러 코드 라벨을 사용합니다, 수많은 전기 이중 안전 장치 ​​및 백업 시스템이 있습니다. 기화의 브룩스 방법도 선박이 기포로 가득 필요하지 않습니다, 증기를 생성하는 유해 화학 물질. 모든 브룩스 기화기 디자인은 운영자 및 장비의 안전을 최대화하기 위해 만들어진.

증기의 비용 제어: 브룩스 기화기의 유량 제어에 / 증기 오프 초고속 그 과정에서 사용하지 않는 스크러버에서 낭비 수증기의 양을 최소화. 비디오에서 전기 설계 vaporizers의 실제 운영 수명을 연장, 민감한 액체 엽 성의 전구 물질은 열 분해가 발생하지 않습니다, 및 증기 유량 컨트롤러에 대한 추가적인 계측 비용은 피할 수있다.

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