サーマルマスフローコントローラは、従来、特定のガスのために校正されています, 望ましい流量範囲, 動作条件とセット. 時間とともに, ガスは、ユーザーが複数のガスのための単一のマスフローコントローラを設定するための手段として使用されるようになった間に特定の比率に基づいて変換係数を使用すると、加熱. 複数のガスの質量流量コントローラを構成するこの方法は、今日でも一般的である – お使いのデバイスは、ガスによって選択することができたら、それを使用している: ノブを回転させる, ディスプレイ上のボタンを押す, またはデバイスにRS232コマンドを送信する.
精度は、変換のこのメソッドを使用して主な問題です。. キャリブレーションガスと特定の加熱の比に基づいて他のガスとの間の変換流量は質量流量制御のエラーが発生することが 5-6%. それは現実の世界ではガスとの間に存在する他のプロパティの違いを無視するため、このエラーは、変換メソッドの結果です。. あなたは上記のアクションのいずれかを使用して、デバイス上でガスを変更する場合, 装置の精度はガスのために何かあなたのマスフローコントローラの製造元にお問い合わせください その他 校正ガスより.
P.S. あなたはそのようなデバイスが使用可能なすべてのガスの線形であるとガスが変更されたとき、その質量流量精度が変更されませんと言われている場合, ラン! これは物理的に可能ではありません. 比較データについてはお気軽にお問い合わせ.
ブルックスインスツルメントによってMultifloは、特定の加熱中のガスの違いに基づいて変換されるため、複数のガスの質量流量コントローラを構成するための飛躍です。, 密度, と 粘度. Multiflo非対応マスフローコントローラ 単独で比熱比に基づいてガスを変換するデバイスに比べて半分に変換フロー制御、エラーを削減.
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半導体用に設計された, MOCVD, 高純度の全金属製の流路を必要とし、他のガス流量制御アプリケーション, ブルックス GF100シリーズマスフローコントローラ 卓越したパフォーマンスを実現, 信頼性, と柔軟性. GF100シリーズは、業界をリードする機能のハイライトは、含まれます: 超高速 300 ミリ秒のセトリング時間, MultiFlo™ガスレンジ·プログラマ, 任意の圧力過渡鈍感 (PTI), ローカルディスプレイ, 非常に低い浸水面積, と耐食性ハステロイ®センサチューブとバルブシート.
GF120XSDはブルックスGF100シリーズサーマルマスフローコントローラ·ファミリを拡張したものです (MFC). 極端な低圧操作用に設計された, GF120XSDは、付加価値の高い正確な配達のために最適化されています, 低圧特殊ガス. 続きを読む…
これは、我々が取り組んで、過去数ヶ月で完成と私は非常にようやく正式に起動するように興奮されている製品であった 新しいGF40とGF80サーマルマスフローコントローラと流量計! これらのマスフローコントローラは、卓越したパフォーマンスを提供, 多くのガス流量計測·制御アプリケーションの信頼性と柔軟性. この新しいマスフローコントローラの最良の特徴の一つは、特許を取得した第4世代MultiFloガスと範囲の設定が可能です。. MultiFloプログラミングは、シンプルで早いのが特長です - 新しいガスレンジは、下にプログラムすることができます 60 秒を加えたデバイスがサービスから削除するか、任意のプロセスやツールの制御システムからデバイスを切断せずにプログラムすることができます.
GF40/GF80シリーズマスフローコントローラ、高速サブ一秒のセトリング時間と長期的な安定性の耐食ハスタロイセンサチューブを備えています. 優れたバルブ技術は、最小リークで提供, 全体のガスパネルのコストと増加し、スループットを減少させる最大のターンと高速応答. さらに, すべてのデバイスの測定精度がトレーサブル主要な校正標準を使用して検証され.
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