How Low Can You Go? In pressione che viene.
Progettato per semiconduttori, MOCVD, ed altre applicazioni di controllo di flusso di gas che richiedono una elevata purezza in metallo percorso di flusso, Il Brooks GF100 Serie controllori di flusso di massa offrono prestazioni eccezionali, affidabilità, e flessibilità. Le caratteristiche salienti delle serie GF100 leader del settore includono: ultra veloce 300 millisecondi tempo di assestamento, MultiFlo ™ gas e programmabilità gamma, pressione di insensibilità per sovratensioni opzionale (PTI), display locale, estremamente bassa superficie bagnata, e resistente alla corrosione Hastelloy ® tubo sensore e la sede della valvola.
GF120XSD è un'estensione della serie GF100 Brooks termica famiglia di controllori di flusso di massa (MFC). Progettato per il funzionamento estremamente bassa pressione, la GF120XSD è stato ottimizzato per la consegna precisa del valore elevato, bassa pressione gas speciali. Per saperne di più…
