How Low Can You Go? A nyomás, hogy van.
Úgy tervezték, félvezető, MOCVD, és más gáz áramlását ellenőrző alkalmazások, amelyek megkövetelik a nagy tisztaságú, teljesen fémből áramlásiút, A Brooks GF100 sorozat tömegáram szabályozók kiemelkedő teljesítményt, megbízhatóság, és rugalmasság. Kiemeli az iparág vezető GF100 sorozat jellemzői közé tartozik: ultragyors 300 milliszekundumos beállási idő, MultiFlo ™ gáz és számos programozható, választható nyomás átmeneti érzéketlensége (PTI), helyi kijelző, rendkívül alacsony nedvesített felület, és korrózióálló Hastelloy ® érzékelő cső és szelep ülés.
GF120XSD egy kiterjesztése Brooks GF100 sorozat termikus tömegáram szabályzó család (MFC). Úgy tervezték, hogy extrém alacsony nyomású működés, A GF120XSD lett optimalizálva pontos szállítás a nagy értékű, alacsony nyomású speciális gázok. Bővebben…
