Brooks Instrument Blog

Úgy tervezték, félvezető, MOCVD, és más gáz áramlását ellenőrző alkalmazások, amelyek megkövetelik a nagy tisztaságú, teljesen fémből áramlásiút, A Brooks GF100 sorozat tömegáram szabályozók kiemelkedő teljesítményt, megbízhatóság, és rugalmasság. Kiemeli az iparág vezető GF100 sorozat jellemzői közé tartozik: ultragyors 300 milliszekundumos beállási idő, MultiFlo ™ gáz és számos programozható, választható nyomás átmeneti érzéketlensége (PTI), helyi kijelző, rendkívül alacsony nedvesített felület, és korrózióálló Hastelloy ® érzékelő cső és szelep ülés.

GF120XSD egy kiterjesztése Brooks GF100 sorozat termikus tömegáram szabályzó család (MFC). Úgy tervezték, hogy extrém alacsony nyomású működés, A GF120XSD lett optimalizálva pontos szállítás a nagy értékű, alacsony nyomású speciális gázok.

Középpontjában a tömegáram szabályzó az átfolyásmérő, amely két hűtős tekercsek körül egy vékony falú kapilláris. Mint áramlás áthalad a csövön (a pontos arány a fő gáz áramlását a testen keresztül az MFC), A gázmolekulák végezze le a hőt érzékelő csövet az első fűtött zóna, A hőmérséklet emelése a második fűtött zóna. A hőmérséklet-változás egyenesen arányos a tömegáram a gáz a csőben. Mivel a pontos mintavételi (vagy áramlás-megosztáshoz) A szenzor kimenő arányos a teljes átáramló gáz áramlik át a műszer. Mivel az érzékelő cső belső jellemzően nagyon kicsi (0.010″ ID), és annak a ténynek köszönhető, hogy a szabályozó szelepek igényel némi nyomásesés stabil szabályozást, tömegáram szabályzó általában egy nyomáskülönbség 5-10 PSID vezetni a gázt a készüléken keresztül.

A mikroelektronikai gyártás, széles skáláját használják, beleértve gáz erősen mérgező gázokat az implantátum és az ülepedés folyamatát. a biztonságos kezeléshez, Ezek a gázok gyakran tartalmaz speciális hengerek, amely képes nagy mennyiségű mérgező gáz légköri nyomás alatti. Ez egyszerűsíti a szállítási, kezelése és szállítása a gáz, de a kihívásokat teremt a tömegáram szabályozók használt pontosan szabályozzák a gáz áramlása a folyamat kamra. Mivel a gázt fogyasztott a nyomás csökken, okoz jelentős kihívások a hagyományos tömegáram szabályozók, amelyek megkövetelik a viszonylag nagy nyomáskülönbség vezetni az átfolyást a készülék.

A Brooks GF120XSD használ egy nagy átmérőjű, alacsony nyomásesés hőáram-érzékelő. Növelésével vezetőképessége az átfolyásmérő, kevesebb nyomás szükséges leszakadt a minta gáz mérésére. Kombinálva nagy pontosságú Stoke szelepet hogy tovább mérsékelje a nyomásesés, A GF120XSD tudja pontosan szabályozható áramlás <1/100^én A légkör a bejövő nyomás (kilépő oldali nyomás és vákuum).

Ezt a nagyon alacsony nyomású működés teszi lehetővé, hogy kihasználja, mint 90% Az értékes alacsony nyomású speciális ipari gázok, 1 ~ 40% előrelépést jelent a hagyományos tömegáram szabályozók.

Egy nemrég OEM minősítési, A GF120XSD bizonyította legjobb pontosság és áramlás stabilitása nagyon alacsony nyomáson, áramlás stabilizációs idő csökkenthető másodperccel szemben az előző generációk Brooks alacsony nyomású tömegáram szabályozók, további hatékonyságának javítása a gáz használat.