ब्रूक्स साधन ब्लॉग

अर्धचालक के लिए बनाया गया, MOCVD, और अन्य गैस प्रवाह नियंत्रण अनुप्रयोगों है कि एक उच्च शुद्धता प्रवाह सब धातु पथ की आवश्यकता, ब्रूक्स GF100 श्रृंखला जन प्रवाह नियंत्रकों उत्कृष्ट प्रदर्शन उद्धार, विश्वसनीयता, और लचीलापन. GF100 श्रृंखला उद्योग के अग्रणी सुविधाओं की मुख्य विशेषताएं शामिल हैं: अल्ट्रा तेज 300 millisecond के समय निपटाने, MultiFlo ™ गैस और सीमा programmability, वैकल्पिक दबाव क्षणिक असंवेदनशीलता (पीटीआई), स्थानीय प्रदर्शन, बहुत कम गीला सतह क्षेत्र, और संक्षारण प्रतिरोधी Hastelloy ® सेंसर ट्यूब और वाल्व सीट.

GF120XSD ब्रूक्स GF100 श्रृंखला थर्मल जन प्रवाह नियंत्रक परिवार के लिए एक विस्तार है (MFC है). चरम कम दबाव आपरेशन के लिए बनाया गया, GF120XSD उच्च मूल्य की सटीक वितरण के लिए ऑप्टिमाइज़ किया गया, कम दबाव विशेषता गैसों. और अधिक पढ़ें…